一种真空镀膜系统及其真空闸门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间。利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置即可实现真空闸门装置的致动，金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，提高密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间。利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置即可实现真空闸门装置的致动，金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，提高密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。【专利说明】一种真空镀膜系统及其真空闸门装置
本技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。
技术介绍
真空闸门的主要功能是实现真空腔室与腔室或真空腔室与外界之间的隔绝和联通，其广泛应用于各种真空镀膜装置。在现代真空镀膜技术中，为了提高膜层质量，减低交差污染和是渗透污染对膜层质量的影响，采用了一种回型真空腔室成为真空系统的必然发展趋势。其具体结构是:在一个真空腔室的内部，设置了多个工艺反应室，工艺反应室和真空腔室之间设置了一个多通道密封结构真空闸阀，用于实现工艺反应室和真空腔室之间的隔绝和联通。当进行工艺时，闸阀门关闭，工艺室和真空腔室处于两种独立的真空环境中，这就大大的降低了外部杂质进入工艺室的几率，进而避免了膜层的渗透污染。在该种镀膜系统，一种合适的真空闸阀装置就显得非常重要。现有的真空闸阀装置中，一方面，其结构过于复杂，且需要的空间较大，成本高且不利用系统安装维护，另一方面，由于工艺反应室具有高温和腐蚀性，而现有闸阀装置采用的O圈作为密封材料，因而不能满足该种镀膜系统的闸阀需求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，提供一种真空镀膜系统及其真空闸门装置，结构简单，占用空间小，耐腐蚀耐高温，便于加工装配，且可有效保证密封效果。为了解决上述技术问题，一方面，本技术的实施例提供了一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆、连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动连接于所述连杆，所述从动摇杆的两端分别转动连接于所述支撑座及所述连杆；所述连杆与所述固定件固定连接；所述旋转驱动件固定于所述支撑座，用于带动所述主动摇杆摆动，并驱动所述弹性密封机构与所述真空闸门板抵接或分离。其中,所述金属密封板的厚度小于或等于4_。其中，所述金属密封板为长条状，所述金属密封板上靠近所述固定件的板面上设有加强筋；所述加强筋为条状，沿所述金属密封板的宽度方向设置；所述弹性组件连接至所述加强筋。其中，所述弹性组件包括压簧及连接柱，所述固定件上设有连接通孔，所述连接柱沿自身轴向滑动穿设所述连接通孔，所述连接柱的一端与所述金属密封板固定连接，另一端设有连接帽，用于防止所述连接柱从所述连接通孔中滑出；所述压簧套设在所述连接柱上，且压缩设置在所述金属密封板与所述固定件之间。其中，所述弹性组件包括两个对称设置的V形弹片，各所述V形弹片的两端分别固定连接至所述固定件及所述金属密封板。其中，所述弹性密封机构包括的弹性组件为多个，均布于所述金属密封板与所述固定件之间。其中，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；各所述弹性密封机构中，两所述弹性组件为一组，每组中的两弹性组件沿所述金属密封板的宽度方向排布设置；多组弹性组件沿所述金属密封板的长度方向排布。其中，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；所述双摇杆机构为两组，两所述双摇杆机构的连杆相互平行，且分别固定连接至所述固定件长度方向上的两端；所述真空闸门装置还包括主动转轴和从动转轴；两组所述双摇杆机构的主动摇杆均固定连接于所述主动转轴，所述主动转轴传动连接于所述旋转驱动件；所述从动转轴转动连接于支撑座，两组所述双摇杆机构的从动摇杆分别固定连接至从动转轴。其中，真空闸门装置还包括辅助双摇杆机构，辅助双摇杆机构包括辅助主摇杆、辅助从摇杆及辅助连杆；所述辅助主摇杆的一端固定连接至所述主动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆；所述辅助从摇杆的一端固定连接至所述从动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆。另一方面，本技术提供了一种真空镀膜系统，包括前述的真空闸门装置及真空闸门板，所述真空闸门装置与所述真空闸门板对应配合，用于开关所述真空闸门板上的开口。本技术实施例提供的真空镀膜系统及其真空闸门装置，利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，在打开开口的同时可避开开口，便于作业；双摇杆机构结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置带动主动摇杆动作即可实现真空闸门装置的致动，易于安装及维护；采用金属密封板作为密封材料，在关闭状态金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，具备较好的密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。【专利附图】【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术第一实施例提供的真空闸门系统的示意图；图2是图1中真空闸门装置在关闭状态的剖面图；图3是图1中真空闸门装置在打开状态的剖面图；图4是图1中真空闸门装置的弹性密封机构的剖面图；图5是图1中真空闸门装置的弹性密封机构的分解示意图图6是图1中真空闸门装置的主动转轴与支撑座的连接剖面图；图7、图8是本技术第二实施例提供的弹性密封机构的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。参见图1至图3所示，本技术中第一实施例提供的一种真空镀膜系统，包括真空闸门装置及真空闸门板9，真空闸门装置与真空闸门板对应配合，用于开关真空闸门板9上的开口 90，以实现真空镀膜系统中真空腔室之间、或者真空腔室与外界之间的隔绝与联通。真空闸门装置包括支撑座1、双摇杆机构2、弹性密封机构3及旋转驱动件4。双摇杆机构2及旋转驱动件4均连接至支撑座I，双摇杆机构2连接在弹性密封机构3与旋转驱动件4之间，旋转驱动件4用于带动双摇杆机构2动作以驱动弹性密封机构3与真空闸门板9抵接或分离，从而开关开口 90。支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆及连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动连接于所述连杆，所述从动摇杆的两端分别转动连接于所述支撑座及所述连杆；所述连杆与所述固定件固定连接；所述旋转驱动件固定于所述支撑座，用于带动所述主动摇杆摆动，并驱动所述弹性密封机构与所述真空闸门板抵接或分离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何祝兵，苏奇聪，王春柱，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：实用新型
国别省市：