基板检查装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种基板检查装置，涉及显示技术领域，能够及时发现基板边缘存在的破损、异物等不良情况。该基板检查装置包括：承载基板的承载台；位于所述承载台上方或下方的光源；位于所述基板的显示区域上方的第一图像传感器，所述第一图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像，以获得所述显示区域的不良情况的位置和面积信息；位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，所述第二图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像，以获得所述边缘区域的不良情况的位置和面积信息。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
基板检查装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种基板检查装置。
技术介绍
在显示面板生产过程中，曝光是必不可少的工序。涂布了光刻胶的基板进入曝光机曝光之前需要进行检查，以及时排除具有异物、不够平整等具有不良情况的基板，提高显示面板的良品率，降低成本。专利技术人在实现本专利技术的过程中发现，在现有技术中，由于基板的边缘无需进行曝光，在检查的过程中，基板检查装置仅对涂覆有光刻胶的显示区域进行检查，不对基板的边缘进行检查。但是基板在生产线上运输的过程中，容易与生产线的导向轮或止动销发生碰撞而造成缺损，或粘附生产线上的异物。缺损或异物容易损坏喷涂光刻胶的喷嘴、掩膜板等结构，增大曝光成本。进一步的，存在边缘缺损的基板还会对生产出来的彩膜基板的品质产生重大影响，降低彩膜基板的良品率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种基板检查装置，能够及时发现基板边缘存在的破损、异物等不良情况。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:本专利技术提供了一种基板检查装置，包括:承载基板的承载台；位于所述承载台上方或下方的光源；位于所述基板的显示区域上方的第一图像传感器，所述第一图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像，以获得所述显示区域的不良情况的位置和面积信息；位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，所述第二图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像，以获得所述边缘区域的不良情况的位置和面积信息。进一步的，所述第二图像传感器的拍摄方向垂直于所述基板。进一步的，所述第二图像传感器与所述基板之间的距离等于所述第二图像传感器的焦距。进一步的，所述光源包括第一光源；所述第一图像传感器利用所述第一光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像；所述第二图像传感器利用所述第一光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像。进一步的，所述光源包括第一光源和第二光源；所述第一图像传感器利用所述第一光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像；所述第二图像传感器利用所述第二光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像。进一步的，所述第二图像传感器和所述第二光源分别位于所述承载台的上方和下方，且所述第二光源的出光区域对应所述第二图像传感器的入光区域。该基板检查装置具有位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，该第二图像传感器将拍摄到的图像传输给基板检查装置内的中心控制模块，该中心控制模块可以根据第二图像传感器拍摄到的图像，对基板的边缘区域进行分析，及时发现基板的边缘区域所存在的异物、缺损等不良情况，从而对存在上述不良情况的基板进行及时的处理，防止该基板损坏喷涂光刻胶的喷嘴、掩膜板等结构，增大曝光成本，同时，还可保证彩膜基板的良品率。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中的基板检查装置的结构示意图；图2为本技术实施例中的基板检查装置的具体结构示意图一；图3为本技术实施例中的边缘区域无异物时第一光源发出的光的光路示意图；`图4为本技术实施例中的边缘区域有异物时第一光源发出的光的光路示意图；图5为本技术实施例中的基板检查装置的具体结构示意图二 ；图6为本技术实施例中的边缘区域无异物时第二光源发出的光的光路示意图；图7为本技术实施例中的边缘区域有异物时第二光源发出的光的光路示意图。附图标记说明:I一承载台；2—支撑架； 3—第一光源；4 一第二光源；5—基板；6—第一图像传感器；7—第二图像传感器；8—异物。【具体实施方式】实施例一本技术实施例提供一种基板检查装置，具体的，如图1所示，该基板检查装置包括:承载基板的承载台、位于所述承载台上方或下方的光源、位于所述基板的显示区域上方的第一图像传感器以及位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器。基板包括显示区域和显示区域周围的边缘区域，具体的，涂布了光刻胶的基板进入曝光机曝光之前需要进入基板检测装置进行检查。检查的过程中，所述第一图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像，以获得所述显示区域的不良情况的位置和面积信息；同时，所述第二图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像，以获得所述边缘区域的不良情况的位置和面积信息。其中，显示区域的不良情况包括粘附有异物、光刻胶未涂覆均匀、具有波纹等，边缘区域的不良情况包括粘附有异物、存在缺损等。第一图像传感器和第二图像传感器将各自拍摄到的图像传送给该基板检查装置中的用于进行数据处理的中心控制模块，中心控制模块可以根据传送来图像的图像传感器所在的位置、坐标，将所接收到的各图像结合起来，形成一幅清晰、完整的基板的图像，并对图像进行分析，从而判断基板上粘附有异物、基板的显示区域的光刻胶未涂覆均匀、基板的显示区域出现波纹、基板的边缘区域具有缺损等不良情况是否存在。若是存在，将基板进行对应的处理，以防止存在不良情况的基板影响后续的曝光工艺。例如，若是基板的显示区域粘附有异物，可采用研磨、烧蚀、激光等处理方式，减小或清除粘附在显示区域上的异物，从而使得该基板可以进行下一步的曝光、加工，制得满足工艺要求的彩膜基板。同时，还应对检查出来的异物进行分析、找出异物的材质、来源，并对可能导致异物粘附在基板上的生产线上的装置、设备进行调整、改进，减少异物粘附的可能性。又例如，若是基板的边缘部分存在缺损，为了防止基板边缘的缺损再次对喷涂光刻胶的喷嘴造成划伤、损坏，同时为了防止缺损影响生产出来的彩膜基板的品质，只能将该基板舍弃。但是，需要对存在的缺损进行分析，得知该缺损是由止动销或者生产线上的其他部件所造成的，对止动销或其他造成缺损的部件进行调整，以降低缺损出现的可能性。在本实施例的技术方案中，该基板检查装置具有位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，该第二图像传感器将拍摄到的图像传输给基板检查装置内的中心控制模块，该中心控制模块可以根据第二图像传感器拍摄到的图像，对基板的边缘区域进行分析，及时发现基板的边缘区域所存在的异物、缺损等不良情况，从而对存在上述不良情况的基板进行及时的处理，防止该基板损坏喷涂光刻胶的喷嘴、掩膜板等结构，增大曝光成本，同时，还可保证彩膜基板的良品率。实施例二在实施例一的基础上，本技术实施例提供了 一种基板检查装置的具体结构，在检查的过程中，基板5匀速地自基板检查装置的一端进去，从另一端出来，其中，基板5上的箭头表示了基板5的传送方向。具体的，如图2所示，该基板检查装置包括:承载基板5的承载台1、位于所述承载台I上方的支撑架2，该支撑架2上设置有第一光源3，在本专利技术实施例中，该第一光源3优选为条状光源，该条状光源平行于承载台I设置，且与基板5的前进方向垂直。进一步的，支撑架2上还设置有位于第一光源3对面的多个第一图像传感器6，如图2所示，调节第一光源3和第一图像传感器6的角度，使得第一光源3发出的光可以经过平整、无波纹、无异物的基板5的显示区域的反射后，基本都进入第一图像传感器6中。若是基板5的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其特征在于，包括：承载基板的承载台；位于所述承载台上方或下方的光源；位于所述基板的显示区域上方的第一图像传感器，所述第一图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像，以获得所述显示区域的不良情况的位置和面积信息；位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，所述第二图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像，以获得所述边缘区域的不良情况的位置和面积信息。

【技术特征摘要】
1.一种基板检查装置，其特征在于，包括: 承载基板的承载台； 位于所述承载台上方或下方的光源； 位于所述基板的显示区域上方的第一图像传感器，所述第一图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的显示区域进行成像，以获得所述显示区域的不良情况的位置和面积信息； 位于所述基板的边缘区域上方的第二图像传感器，所述第二图像传感器利用所述光源发出的光对所述基板的边缘区域进行成像，以获得所述边缘区域的不良情况的位置和面积信息。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述第二图像传感器的拍摄方向垂直于所述基板。3.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，所述第二图像传感器与所述基板之间的距离等于所述第二图像传感器的焦距。...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨章亮，张然，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司， 北京京东方显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11