有机电致发光显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开有机电致发光显示装置的制造方法，步骤如下：准备具有第一像素区域和与所述第一像素区域分隔的第二像素区域的基板，并将对应于所述第一像素区域和第二像素区域而开口的第一掩模布置在所述基板之上。然后，将对应于所述第一像素区域而开口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素区域，覆盖所述第二像素区域。然后，向所述基板侧提供第一有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域形成所述第一有机发光物质，并从所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素区域和第二像素区域，向所述基板侧提供第二有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域和第二像素区域形成所述第二有机发光物质，之后从所述基板去除所述第一掩模。

【技术实现步骤摘要】
有机电致发光显示装置的制造方法
本专利技术涉及有机电致发光显示装置的制造方法，尤其涉及形成有机电致发光显示装置的有机发光层的方法。
技术介绍
有机电致发光显示装置作为平板显示装置中的一种，逐渐取代着以往广泛使用的液晶显示装置。有机电致发光显示装置自发光而显示图像，因此与液晶显示装置不同，不需要通过其构成要素发光的背光单元。据此，有机电致发光显示装置不仅具有相比液晶显示装置有利于减少其厚度的结构，响应特性也很出色，因此作为下一代平板显示装置，其使用范围正逐渐扩大。通常，有机电致发光显示装置包括阳极、阴极以及介入于这两个电极之间的空穴注入层、空穴输送层、有机发光层、电子输送层、电子注入层。通过所述阳极向所述有机发光层提供空穴，并通过所述阴极向所述有机发光层提供电子。据此，被提供至所述有机发光层的电子和空穴再结合而生成激子，根据所述激子的状态从激发态变化至基态而产生的能量，从所述有机发光层发出光。另外，用于制造有机电致发光显示装置的多个单位工艺中的一部分单位工艺可适用被应用于液晶显示装置的制造中而通用化的单位工艺。但是，由于诸如在基板上图案化有机发光层的工艺的一部分单位工艺属于没有被引入到液晶显示装置的制造中的工艺，因而正在研究能够将这些单位工艺最优化的可执行的方案。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够更加容易地图案化有机电致发光显示装置的有机发光层的方法。用于实现上述的本专利技术的目的的根据本专利技术一实施例的有机电致发光显示装置的制造方法如下。准备具有第一像素区域和与所述第一像素区域分隔的第二像素区域的基板，并将对应于所述第一像素区域和第二像素区域而开口的第一掩模布置在所述基板之上。然后，将对应于所述第一像素区域而开口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素区域，覆盖所述第二像素区域。然后，向所述基板侧提供第一有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域形成所述第一有机发光物质，并从所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素区域和第二像素区域，向所述基板侧提供第二有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域和第二像素区域形成所述第二有机发光物质，之后从所述基板去除所述第一掩模。用于实现上述本专利技术的目的的根据本专利技术另一实施例的有机电致发光显示装置的制造方法如下。准备具有彼此分隔的第一像素区域、第二像素区域、第三像素区域的基板，并将对应于所述第一至第三像素区域而开口的第一掩模布置在所述基板之上，将对应于所述第一像素区域和第二像素区域而开口的第二掩模布置在所述第一掩模之上。然后，将对应于所述第一像素区域而开口的第三掩模布置在所述第二掩模之上，以暴露所述第一像素区域，并覆盖所述第二像素区域和第三像素区域。然后，向所述基板侧提供第一有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域形成所述第一有机发光物质，并从基板去除所述第三掩模，以暴露所述第一像素区域和第二像素区域，向所述基板侧提供第二有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域和第二像素区域形成所述第二有机发光物质。然后，从所述基板去除所述第二掩模，以暴露所述第一至第三像素区域，向所述基板侧提供第三有机发光物质，以在暴露的所述第一至第三像素区域形成所述第三有机发光物质，之后从基板去除所述第一掩模。根据本专利技术的实施例，可利用薄膜形态的掩模选择性地在像素区域容易地形成彼此不同的有机发光层。据此，可以最小化以往为了图案化有机发光层而使用的金属掩模的使用频率，或者所述薄膜形态的掩模可以取代所述金属掩模。此时，可以解决随着使用所述金属掩模而发生的各种工艺问题（例如，由于金属掩模的重量，所述金属掩模在工艺过程中发生下垂，导致难以制作大型的所述金属掩模的问题）。附图说明图1a至图1j为示出根据本专利技术实施例的有机电致发光显示装置的制造方法的图。图2为示出根据本专利技术另一实施例的有机电致发光显示装置的制造工艺的图。图3为示出根据本专利技术另一实施例的有机电致发光显示装置的制造工艺的图。图4a至图4f为示出根据本专利技术又一实施例的有机电致发光显示装置的制造方法的图。主要符号说明M1：第一掩模M2：第二掩模M3：第三掩模PE1：第一像素电极PA1：第一像素区域EL1：第一有机发光层EM1：第一有机发光物质HIL：空穴注入层HTL：空穴输送层EIL：电子注入层ETL：电子输送层CE：共同电极FMM：精细金属掩模具体实施方式以下，参照附图详细说明本专利技术的实施例。通过与附图相关的实施例，可以容易理解上述的本专利技术的目的、特征以及效果。但是，本专利技术并不局限于在此说明的实施例，可以应用为多种形态进行变更。后述的本专利技术的实施例是为了进一步明确通过本专利技术公开的技术思想，进而向本专利技术所属的
内具有普及的知识的技术人员充分地传递本专利技术的技术思想。因此，本专利技术的范围并不能解释为根据后述的实施例进行限定。另外，下述实施例和图中的相同的附图标记表示相同的构成要素。图1a至图1j为示出根据本专利技术实施例的有机电致发光显示装置的制造方法的图。参照图1a，基板10具有多个第一像素区域、多个第二像素区域、多个第三像素区域。在进行后述的有机电致发光显示装置的制造工艺之后，在所述多个第一像素区域中的每一个第一像素区域中形成发出第一光（图1j的L1）的像素，在所述多个第二像素区域中的每一个第二像素区域形成发出颜色与所述第一光不同的第二光（图1j的L2），所述多个第三像素区域中的每一个第三像素区域中形成发出颜色与所述第一光和第二光不同的第三光（图1j的L3）的像素。另外，作为示例，在图1a至图1j示出了形成于所述多个第一至第三像素区域中的第一像素区域PA1、第二像素区域PA2、第三像素区域PA3的像素的制造方法，对于剩余的像素区域中形成的像素的制造方法进行省略。在所述基板10上形成有有机膜20，在所述有机膜20上形成与所述第一至第三像素区域PA1、PA2、PA3一一对应而布置的第一至第三像素电极PE1、PE2、PE3。在本专利技术的实施例中，所述有机膜20可以覆盖布置在所述基板10上的多个驱动晶体管（未图示）。所述多个驱动晶体管可包括与所述第一至第三像素电极PE1、PE2、PE3一一对应而电连接的第一至第三驱动晶体管，所述第一至第三驱动晶体管可切换向所述第一至第三像素电极PE1、PE2、PE3侧提供的驱动信号。而且，所述多个驱动晶体管中的每一个驱动晶体管可包括栅极、源极、有源图案、漏极。据此，在所述基板10上可进一步设置使所述栅极与相邻的其他导电图案形成绝缘的栅极绝缘膜（未图示）以及使所述源极和漏极与其他导电图案形成绝缘的层间绝缘膜（未图示）。在形成所述第一至第三像素电极PE1、PE2、PE3之后，在所述第一至第三像素电极PE1、PE2、PE3之上顺序地形成空穴注入层HIL、空穴输送层HTL。在本专利技术的实施例中，所述空穴注入层HIL和所述空穴输送层HTL可分别以单层膜的形状共同形成于所述第一至第三像素区域PA1、PA2、PA3。在本专利技术的另一实施例中，所述空穴注入层HIL和所述空穴输送层HTL中的其中一个可以以单层膜的形状共同形成于所述第一至第三像素区域PA1、PA2、PA3，或者所述空穴注入层HIL和所述空穴输送层HTL可以分别在各个所述第一至第三像素区域PA1、PA2、PA3中以图案化的形状形成。在形成所述空穴注入层HIL和所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光显示装置的制造方法，包括如下步骤：准备具有第一像素区域和与所述第一像素区域分隔的第二像素区域的基板；将对应于所述第一像素区域和第二像素区域而开口的第一掩模布置在所述基板之上；将对应于所述第一像素区域而开口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素区域，覆盖所述第二像素区域；向所述基板侧提供第一有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域形成所述第一有机发光物质；从所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素区域和第二像素区域；向所述基板侧提供第二有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域和第二像素区域形成所述第二有机发光物质；从所述基板去除所述第一掩模。

【技术特征摘要】
2012.09.19 KR 10-2012-01041281.一种有机电致发光显示装置的制造方法，包括如下步骤：准备具有第一像素区域和与所述第一像素区域分隔的第二像素区域的基板；将分别对应于所述第一像素区域和第二像素区域而开口的第一掩模布置在所述基板之上；将对应于所述第一像素区域而开口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素区域，覆盖所述第二像素区域；向所述基板侧提供第一有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域形成所述第一有机发光物质；从所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素区域和第二像素区域；向所述基板侧提供第二有机发光物质，以在暴露的所述第一像素区域和第二像素区域形成所述第二有机发光物质；从所述基板去除所述第一掩模。2.根据权利要求1所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，所述第一有机发光物质被蒸镀到所述第一像素区域而形成第一有机发光层，所述第二有机发光物质被蒸镀到所述第一像素区域和第二像素区域而形成第二有机发光层。3.根据权利要求2所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，从形成于所述第一像素区域的所述第一有机发光层和第二有机发光层产生第一光，从形成于所述第二像素区域的所述第二有机发光层产生颜色与所述第一光不同的第二光。4.根据权利要求3所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，还包括步骤：向所述第一有机发光层和第二有机发光层中的至少一个提供掺杂物而调整所述第一光和第二光中的至少一个的颜色。5.根据权利要求3所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，还包括步骤：在所述基板上形成至少一个滤色片，该滤色片对所述第一光和所述第二光中的至少一个的颜色进行滤色。6.根据权利要求3所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，还包括步骤：在从所述基板去除所述第一掩模和第二掩模的状态下，在所述基板上布置对应于与所述基板的所述第一像素区域和第二像素区域分开的第三像素区域而开口的第三掩模，以暴露所述第三像素区域；在暴露的所述第三像素区域蒸镀第三有机发光物质，形成产生颜色与所述第一光和第二光不同的光的第三有机发光层。7.根据权利要求6所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，所述第三掩模为金属掩模。8.根据权利要求6所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，还包括如下步骤：在形成所述第一至第三有机发光层之前，形成与所述第一至第三有机发光像素区域一一对应的像素电极；在形成所述第一至第三有机发光层之前，在所述像素电极之上形成空穴注入层；在形成所述第一至第三有机发光层之前，在所述空穴注入层之上形成空穴输送层；在所述第一至第三有机发光层之上形成电子输送层；在所述电子输送层之上形成电子注入层；在所述电子注入层之上形成共同电极，所述空穴注入层、所述空穴输送层、所述电子输送层、所述电子注入层中的至少一个以单层膜形状共同形成于所述第一至第三像素区域。9.根据权利要求2所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，从所述基板去除所述第二掩模时，蒸镀到所述第二掩模上的所述第一有机发光物质与所述第二掩模一起被去除，从所述基板去除所述第一掩模时，蒸镀到所述第一掩模之上的所述第二有机发光物质与所述第一掩模一起被去除。10.根据权利要求1所述的有机电致发光显示装置的制造方法，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：金建模，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR