互连结构及其形成方法技术

技术编号:9838369 阅读:130 留言:0更新日期:2014-04-02 02:05
本发明专利技术公开了凸块导线直连(BOT)结构的一个实施例,包括:由集成电路支撑的接触元件、与接触元件电连接的凸块下金属(UBM)部件、安装在凸块下金属部件上的金属梯状凸块和安装在衬底上的衬底导线,其中,金属梯状凸块具有第一楔形轮廓,该衬底导线具有第二楔形轮廓并且通过直接金属与金属接合连接至金属梯状凸块。可以以类似的方式制造芯片与芯片结构的实施例。本发明专利技术还提供了互连结构及其形成方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种凸块导线直连(BOT)结构,包括:接触元件,由集成电路支撑;凸块下金属(UBM)部件,与所述接触元件电连接;金属梯状凸块,安装在所述凸块下金属部件上,所述金属梯状凸块具有第一楔形轮廓;以及衬底导线,安装在衬底上,所述衬底导线具有第二楔形轮廓并且通过直接金属与金属接合连接至所述金属梯状凸块。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:林育蔚吴胜郁曾裕仁郭庭豪陈承先
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:台湾;71

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