【技术实现步骤摘要】
一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器
:本技术涉及一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，属于有机化学
。
技术介绍
:有机化学又称为碳化合物的化学，是研究有机化合物的结构、性质、制备的学科，是化学中极重要的一个分支。含碳化合物被称为有机化合物是因为以往的化学家们认为含碳物质一定要由生物(有机体)才能制造；然而在1828年的时候，德国化学家弗里德里希?维勒，在实验室中成功合成尿素(一种生物分子)，自此以后有机化学便脱离传统所定义的范围，扩大为含碳物质的化学。 在真空状态下制备半导体材料需要将不同反应气体分别送入反应室，由于反应气体的性质特殊，在送入反应室之前反应气体必须分层隔离且需要冷却，在将不同气体送入反应室后，又要求反应气体在衬底表面充分均匀混合，因而一般都采用喷雾器装置进行送气。现有的喷雾在送入反应室之前反应气体的冷却效果达不到理想效果，浪费能源，而且冷却排出时浪费时间，降低工作效率。
技术实现思路
:针对上述问题，本技术提供一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器。本技术的一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖、箱体、进水管、出水管、进气管一、进气管二、进气室一、进气室二、反应室，它还包含螺纹管道、喷射管、支柱、传感器、导流板，箱体的上端安装有上盖，箱体的两端分别安装有进水管、出水管，上盖上安装有进气管一、进气管二，气管一、进气管二分别与进气室一、进气室二连接，进气室一、进气室二的下端安装有反应室，反应室的下端安装有支柱，支柱上安装有传感器，箱体的底部安装有导流板，箱体的内壁设置有螺纹管道，螺纹管道上安装有喷射管。作为...
【技术保护点】
一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖(1)、箱体(2)、进水管(3)、出水管(4)、进气管一(5)、进气管二(6)、进气室一(7)、进气室二(8)、反应室(9)，其特征在于：它还包含螺纹管道(10)、喷射管(11)、支柱(12)、传感器(13)、导流板(14)，箱体(2)的上端安装有上盖(1)，箱体(2)的两端分别安装有进水管(3)、出水管(4)，上盖(1)上安装有进气管一(5)、进气管二(6)，气管一(5)、进气管二(6)分别与进气室一(7)、进气室二(8)连接，进气室一(7)、进气室二(8)的下端安装有反应室(9)，反应室(9)的下端安装有支柱(12)，支柱(12)上安装有传感器(13)，箱体(2)的底部安装有导流板(14)，箱体(2)的内壁设置有螺纹管道(10)，螺纹管道(10)上安装有喷射管(11)。
【技术特征摘要】
1.一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖(I)、箱体(2)、进水管(3)、出水管(4)、进气管一(5)、进气管二 (6)、进气室一(7)、进气室二(8)、反应室(9)，其特征在于:它还包含螺纹管道(10)、喷射管(11)、支柱(12)、传感器(13)、导流板(14)，箱体(2)的上端安装有上盖(I)，箱体(2)的两端分别安装有进水管(3)、出水管(4)，上盖(I)上安装有进气管一(5)、进气管二 (6)，气管一(5)、进气管二(6)分别与进气室一(7)、进气室二(8)连接，进气室一(7)、进气室二(8)的下端安装有反应室(...
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