部件分析系统及方法技术方案

描述部件特性分析系统和方法。在一实施例中，环形振荡器包括：至少一逆变级，可操作以引起信号转换；目标部件，对环形振荡器中信号转换（例如，变化、传播，等等）具有相对增加的作用或影响；以及输出部件，用于输出该目标部件对该信号转换作用的指示。目标部件可包括由一金属层到另一金属层的多个通孔。由一金属层到另一金属层的多个通孔可配置于单元中。通孔可对应于通孔层。在示例性实施中，输出耦接分析部件。分析部件可包括由该通孔电阻到晶片改变的关联，并生成晶片MAP图。分析部件可包括由该通孔电阻到晶片的关联。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请本申请要求享受以下在先申请的权益和优先权:申请号为 61/511，021、名为Digital Extraction of Via Resistance andFailure Rate〃(律所卷号 NVID-P-SC-11-0129-US0)，提交于 2011 年 7 月 22 日；申请号为 61/512，362、名为Digital Extraction of Metal Resistance andCapacitance〃(律所卷号 NVID-P-SC-11-0128-US0)，提交于 2011 年 7 月 27 日；申请号为 61/513，508、名为Digital Extraction of Via Resistance andFailure Rate〃(律所卷号 NVID-P-SC-11-0129-US02)，提交于 2011 年 7 月 29 日；申请号为 13/528，725、名为Coupling Resistance and Capacitance AnalysisSystems and Methods〃(律所卷号 NVID-P-SC-11-0128-US0)，提交于 2012 年 6 月 20 曰；以上申请全文以引用方式合并至此处。
本专利技术涉及检测半导体芯片部件操作。特别地，本专利技术涉及检测影响相关部件的特性和特征。
技术介绍
电子系统和电路以现代社会的进步做出显著的贡献，并用在许多应用中以得到有利的结果。许多电子技术，如数字计算机、计算器、音频设置、视频设备和电话系统，促进在商业、科学、教育和娱乐等大部分领域中分析和交流数据的生产率提升和成本降低。电子设备执行操作的方式可对性能和结果具有显著的影响。然而，传统尝试准确地分析与设备是如何操作的不同方面相关的影响经常被限制并可能非常复杂。随着工艺尺寸的缩减(例如，随着推进半导体制程世代，等等)，经常变得越来越难以一致地复制相同的准确模式。制程可变性可引起显著的产量下降导致硅的浪费。通孔和接触变化是产量损失的显著原因，因为它们非常具有挑战打印并通常需要金属和通孔/接触层之间非常精细的定位。已设计并实施通孔电阻测量结构，但过去的传统方法通常需要模拟电阻测量(例如，直接通过示波器、通过四探针方法、其他方法、开尔文技术，等等)，或者是非常有限的数字尝试(例如，零或无穷大电阻、仅检测开路，等等)，并且通常包括非常大量的通孔(例如，百万个通孔，等等)。由于每个晶片可具有数百个芯片和多个通孔层()，在更详细或详细测量的传统尝试通常是非常困难的并可涉及显著的成本。
技术实现思路
描述部件特性分析系统和方法。在一实施例中，环形振荡器包括:至少一逆变级，可操作以引起信号转换；目标部件，对环形振荡器中信号转换(例如，变化、传播，等等)具有相对增加的作用或影响；以及输出部件，用于输出该目标部件对该信号转换作用的指示。目标部件可包括由一金属层到另一金属层的多个通孔。由一金属层到另一金属层的多个通孔可配置于单元中。通孔可对应于通孔层。在示例性实施中，输出耦接分析部件。分析部件可包括由该通孔电阻到晶片改变的关联，并生成晶片MAP图。分析部件可包括由该通孔电阻到晶片的关联。在一实施例中，方法包括:执行主导特性环形振荡过程；以及分析主导特性环形振荡过程的结果。分析可包括确定与主导特性环形振荡过程的通孔电阻特性相关的延迟。分析可包括将与至少一主导通孔电阻特性振荡环相关的延迟关联到过程改变。分析可包括去卷积(例如，晶体管速度、金属电阻，等等)。【附图说明】纳入本说明书和形成本说明书一部分的附图通过示例或不是通过限制的方式解释本专利技术。该说明书所参考的附图，除非特别说明，应理解为不是按比例绘制的。图1为本专利技术一实施例中特性主导环形振荡器的方框图。图2为本专利技术一实施例中特性主导环形振荡器的方框图。图3为本专利技术一实施例中单元的方框图。图4为本专利技术一实施例中穿过集成电路一部分的侧视方框图。图5为本专利技术一实施例中晶片MAP图的方框图。图6为本专利技术一实施例中不同通孔屋对比MAP图的方框图。图7A为本专利技术一实施例中缺乏与晶体管速度相关的图形指示。图7B为与测量电阻高相关的图形指示的方框图。图8为本专利技术一实施例中具有对制程改变不同敏感度的通孔电阻RO的方框图。图9为本专利技术一实施例中分析系统的方框图。图10为本专利技术一实施例中分析系统的方框图。图11为本专利技术一实施例中分析方法的流程图。图12为本专利技术一实施例中分析过程的流程图。图13为本专利技术一实施例中特性主导环形振荡器系统的方框图。图14为本专利技术一实施例中特性主导环形振荡器系统的方框图。图15为本专利技术一实施例中金属分析系统的方框图。图16为本专利技术一实施例中主导特性环形振荡器的方框图。图17为本专利技术一实施例中主导特性分析系统的方框图。图18为本专利技术一实施例中金属分析方法的流程图。图19为本专利技术一实施例中主导特性环形振荡过程的流程图。图20为本专利技术一实施例中分析过程的流程图。图21为本专利技术一实施例中耦合部件的方框图。图22为本专利技术一实施例中耦合部件的方框图。图23为本专利技术一实施例中晶体管的方框图。图24为本专利技术一实施例中晶体管的方框图。图25为本专利技术一实施例中电容改进配置的方框图。【具体实施方式】现参考优选实施和附图详细地描述地描述本专利技术。虽然将结合优选实施例描述本专利技术，可以理解，它们并不旨在于将本专利技术限于这些实施例。相反的，本发旨在涵盖替代、改进、等价物，其可包括于所附权利要求定义的专利技术范围和精神中。此外，在本专利技术的以下详细描述中，对许多具体细节进行了阐述，以便彻底理解本专利技术。然而，本领域技术人员应该清楚，本专利技术可以在没有这些具体细节的情况下实施。在其他实例中，为避免本专利技术的不必要地模糊方面，公知的方法、步骤、部件、和电路并未详细地描述。本系统和方法有利于分析各种部件的特性(例如，通孔电阻、接触电阻，等等)，该特征可用于各种其他分析(例如，生产分析、过程分析，等等)。在一实施例中，新型的特性主导环形振荡器系统包括一部件或部件的类型(例如，通孔电阻、接触电阻，等等)，其对环形振荡器中的信号传播具有相对增加的作用或影响(例如，时间、延迟，等等)。可分析所得到的频率，以指示主导部件特性或特征，其可用于确定制作和操作问题的指示。可以理解，主导特性部件可以各种方式作用或影响信号转换传播。主导特性可作用从一部件到另一部件的信号传化。在一实施例中，主导特性部件(例如，通孔电阻、接触电阻，等等)耦接环形振荡器的路径。主导特性可作用从一状态到另一状态变化的信号转换(例如，逻辑O、逻辑1、低电压、高电压，等等)。在一实施例中，主导特性部件(例如，通孔电阻、接触电阻，等等)稱接环形振荡器的逆变部件(inversion component)的供电路径。关于主导特性环形振荡器的其他信息和延迟指示的分析在以下具体实施例部分阐述。图1为本专利技术一实施例中特性主导环形振荡器100的方框图。特性主导环形振荡器100包括逆变部件111、逆变部件112、逆变部件113、目标部件121、目标部件122、目标部件123、控制部件140和输出175。逆变部件可操作以引起信号中至少一各自的逆变转换。信号中的逆变转换或传播到随后的逆变部件受目标部件121、122和123的各本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环形振荡器，包括：至少一逆变级，可操作以引起信号转换；其中该逆变级穿过通孔层耦接另一部件，其中由通孔层耦合特性所致的电阻对信号穿过环路径的转换具有相对显著的作用；以及用于输出所述作用的指示的输出部件，所述作用是该通孔电阻对所述信号的穿过所述环形振荡器的信号转换施加的作用。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.22 US 61/511,021;2011.07.27 US 61/512,3621.一种环形振荡器，包括: 至少一逆变级，可操作以引起信号转换；其中该逆变级穿过通孔层耦接另一部件，其中由通孔层耦合特性所致的电阻对信号穿过环路径的转换具有相对显著的作用；以及 用于输出所述作用的指示的输出部件，所述作用是该通孔电阻对所述信号的穿过所述环形振荡器的信号转换施加的作用。2.如权利要求1所述的环形振荡器，其中，穿过所述通孔层的所述耦合包括在一层的第一水平金属层部件、在另一层的第二水平金属层部件、耦合在一层的第一水平金属层部件和在另一层的第二水平金属层部件的垂直部件。3.如权利要求2所述的环形振荡器，其中，该第一水平金属层部件、该第二水平金属层部件和该垂直部件被配置以形成为增加对错位的敏感度而缩小的耦合围合区域。4.如权利要求2所述的环形振荡器，其中，该第一水平金属层部件、该第二水平金属层部件和该垂直部件被配置以形成为减少对错位的敏感度而扩大的耦合围合区域。5.如权利要求2所述的环形振荡器，其中与该第一水平部件和该第二水平部件相比，该垂直部件是宽的。6.如权利要求2所述的环形振荡器，其中与该第一水平部件和该第二水平部件相比，该垂直部件是窄的。7.如权利要求1所述的环形振荡器，其中该通孔电阻显著地高于驱动晶体管的沟道电 阻。8.一种方法，包括:执行主导特性环形振荡过程；以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：沃伊切赫·雅各布·波普，伊利亚斯·埃尔金，皮内特·古普塔，
申请(专利权)人：辉达公司，
类型：
国别省市：