【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于光刻机器群集的网络架构和协议
本专利技术涉及一种包含多个光刻元件的群集式(clustered)基板处理系统,这些元件分别被配置成用于依据图案数据独立曝光基板,本专利技术尤其涉及用于此种群集式基板处理系统的网络架构和协议。
技术介绍
在半导体工业中制造具备高精确度及高可靠度的结构的需求始终不减。在光刻系统中,此种需求导致有关晶圆生产的数量和速度的要求极高。由于具有许多子系统来执行机器内的不同功能,且具有复杂的软件来控制子系统的操作,光刻机器已经变得比较复杂。现代的光刻系统通常产生大量的数据操作,而管理这些数据变得日益困难。可将光刻机器聚集在光刻元件的群(cluster)中,以提供更高的批量生产。为了控制和数据收集而在这样的光刻元件群中传送信息已经成为一个问题,因为要传送的信息量增大且系统复杂度增闻。存在将控制及数据业务结合成单一网络并采用业务质量技术来按优先顺序排列特定数据的传送而提供关键控制数据的及时送达的网络架构,但已被证明在此环境中仍有不足处。本专利技术针对为光刻元件群集(cluster)提供关键控制数据的及时送达和大量数据的收集的网络架构提供一可选的解决方案。
技术实现思路
有必要将多个光刻机器聚集成群,其中控制及数据业务均纳入此群集网络架构和协议之中。一方面,本专利技术提出一种包含一个或多个光刻元件的群集式基板处理系统,每个光刻元件均被配置成用于依据图案数据独立地曝光基板。每一光刻元件均包含多个光刻子系统和控制网络,控制网络被配置成用于在光刻子系统与至少一个元件控制单元之间传送控制信息,元件控制单元被配置成向光刻子系统发送命令,并且光刻 ...
【技术保护点】
一种包含一个或多个光刻元件(10)的群集式基板处理系统,每个光刻元件配置成用于依据图案数据进行基板的独立曝光,且每个光刻元件包含:多个光刻子系统(16);控制网络(120),配置成用于在所述光刻子系统与至少一个元件控制单元(12)之间传送控制信息,所述元件控制单元配置成向所述光刻子系统发送命令,且所述光刻子系统配置成向所述元件控制单元发送响应;以及群集前端(6),用于作为面向操作者或主控系统(2、4)的接口,该前端配置成用于将控制信息配发给所述至少一个元件控制单元以控制所述光刻子系统中的一个或多个对一个或多个晶圆进行曝光的操作;其中该前端被配置成用于将处理程序配发给所述元件控制单元,该处理程序包含一组预先定义的命令和相关参数,每个命令对应于将由所述光刻子系统中一个或多个所执行的预先定义的动作或一连串动作,且所述参数进一步定义该动作或该一连串动作如何被执行。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.22 US 61/478,117;2011.09.12 US 61/533,6731.一种包含一个或多个光刻兀件(10)的群集式基板处理系统,每个光刻兀件配置成用于依据图案数据进行基板的独立曝光,且每个光刻元件包含: 多个光刻子系统(16); 控制网络(120),配置成用于在所述光刻子系统与至少一个元件控制单元(12)之间传送控制信息,所述元件控制单元配置成向所述光刻子系统发送命令,且所述光刻子系统配置成向所述元件控制单元发送响应;以及 群集前端(6),用于作为面向操作者或主控系统(2、4)的接口,该前端配置成用于将控制信息配发给所述至少一个元件控制单元以控制所述光刻子系统中的一个或多个对一个或多个晶圆进行曝光的操作; 其中该前端被配置成用于将处理程序配发给所述元件控制单元,该处理程序包含一组预先定义的命令和相关参数,每个命令对应于将由所述光刻子系统中一个或多个所执行的预先定义的动作或一连串动作,且所述参数进一步定义该动作或该一连串动作如何被执行。2.如权利要求1所述的系统,其中该元件控制单元被配置成用于对所述处理程序进行调度以产生对应的处理作业,用于由所述光刻子系统执行,该处理作业包含所述处理程序的所述一组命令以及所述命令各自的调度执行时间。3.如权利要求2所述的系统,其中所述元件控制单元配置成用于产生所述处理作业,该处理作业包含所述处理程序的所述一组命令,以及对于所述命令中的每一命令被调度来执行该命令的光刻子系统的识别身份。4.如权利要求3所述的系统,其中所述元件控制单元配置成通过在所述处理作业的所述命令中的每一个命令的调度执行时间处,将所述命令中的每一个命令发送到被识别出的光刻子系统,以执行所述处理作业。5.如权利要求4所述的系统,其中所述元件控制单元配置成在所述处理作业的所述命令中的每一个命令的调度执行时间处,将所述命令中的每一个命令发送给被识别出的光刻子系统,不论所述处理作业的先前的命令的执行状态如何。6.如前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述处理程序为对应的命令定义预定时间段,并且其中所述元件控制单元配置成用于对所述处理程序进行调度以产生由所述光刻子系统执行的处理作业,该处理作业包含每个命令的调度执行时间,其中所述预定时间段被用于决定所述处理作业中的所述对应的命令的调度时间。7.如前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述处理程序为对应的第一命令定义第一预定时间段,并且其中所述元件控制单元配置成在该第一命令之后延迟起动下一命令,直到该时间段终止为止且不论所述第一命令的执行状态如何。8.如前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述元件控制单元配置成通过所述光刻子系统中的一个光刻子系统来起动一动作或一连串动作,这通过经由所述控制网络将所述动作或所述一连串动作的一个或多个参数发送给所述子系统且随后将对应于所述动作或所述一连串动作的命令发送给所述子...
【专利技术属性】
技术研发人员:MNJ范科温克,G德博尔,
申请(专利权)人:迈普尔平版印刷IP有限公司,
类型:
国别省市:
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