纳米结构的SPR传感器装置制造方法及图纸

一种传感器装置，包括电介质基片（52）；和在基片（52）上的金属层（53），其中具有至少一个空腔（54）的阵列，并且适于支持L-SPR，在金属层（53）中的每一个空腔（54）具有开口（56）和封闭的底部（58），且从开口到底部逐渐加宽。在每一个空腔（54）的底部（58）上提供有电介质材料的床层（62）以降低其表观深度，床层表面（62）被官能化以结合受体部分（64）。这种传感器装置是特别为SPR检测设计的，但也可以用于其它检测技术中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】纳米结构的SPR传感器装置
本专利技术总体涉及基于表面等离子体共振的传感系统，更具体地说，涉及一种具有纳米结构的SPR传感器装置，适合在化学、生物化学、生物学、生物医学、制药和物理测试中使用。
技术介绍
有许多已知的利用表面等离子体的激发的传感器，被称为表面等离子体共振(SPR)传感器，用于检测邻近传感器表面的样品的折射率变化。这样的SPR传感器用于，例如，在化学、生物化学、生物学、生物医学或制药研究中，在临床或食品检测中，或者在环境检测(如检测气体或废水)等中测量物质的浓度。许多SPR传感器可以进行快速、并行和大规模检测，这使得这些传感器也便于定量分子间的相互作用，特别是用于研究两个或更多相互作用的分子之间的亲合力和实时反应动力学。SPR传感器依赖于众所周知的SPR现象，这涉及在金属材料(通常是金或银)和电介质材料之间的界面处传播的一种或多种表面结合电磁波。每一种因自由电子在金属-电介质的界面处的集体振荡而产生的表面结合电磁波，平行于该界面时，以其最高强度传播，远离该界面时，呈指数衰减。激发SPR的最常用技术是利用Kretschmann装置中的棱镜。在这种情况下，棱镜覆盖有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器装置，包括：电介质基片（52；152；252）；在所述基片（52；152；252）上的金属层（53；153；253），其中具有至少一个纳米空腔（54；154；254）的阵列，并且适于支持L?SPR，在所述金属层中的每一个所述空腔（54；154；254）具有一定深度、开口（56；156）、和封闭的底部（58；158），并且从开口到底部加宽；其中，在每一个空腔（54；154）的所述底部（58；158）上提供有电介质材料的床层（62；162），以形成降低的表观深度（dA），床层表面（63；163）被官能化以结合受体部分（64；164）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.14 EP 11174058.51.一种传感器装置，包括: 电介质基片(52 ；152 ；252)； 在所述基片(52 ；152 ；252)上的金属层(53 ；153 ;253)，其中具有至少一个纳米空腔(54 ；154 ；254)的阵列，并且适于支持L-SPR，在所述金属层中的每一个所述空腔(54 ；154 ；254)具有一定深度、开口(56 ;156)、和封闭的底部(58 ; 158)，并且从开口到底部加宽； 其中，在每一个空腔(54 ；154)的所述底部(58 ；158)上提供有电介质材料的床层(62 ；162)，以形成降低的表观深度(dA)，床层表面(63;163)被官能化以结合受体部分(64 ;164)。2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述空腔(54)具有从开口到底部的截头圆锥形或梯形形状。3.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其中，所述空腔(154)的所述加宽是连续的或以阶梯方式。4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述空腔在它们的底部由所述电介质基片封闭。5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述床层的所述厚度小于所述空腔的深度。6.根据前述权利要 求中任一项所述的传感器装置，其中，所述床层(62；162)的高度使得所述表观深度(dA)在自所述开口(56)处起的10至30nm的范围内，优选在15至25nm之间。7.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述床层(62;162)至少在表面由官能化的电介质聚合物构成。8.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述床层由单一电介质聚合物制成，或者由两层或更多层电介质材料制成，顶层包括官能化的电介质聚合物。9.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述金属层(53；153 ;253)的厚度是至少IOOnm,优选至少120nm。10.根据前述权利要求中...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚·瓦尔塞西亚，弗兰科·马拉贝利，西尔维娅·朱迪卡蒂，杰拉尔多·马尔凯西尼，弗朗索瓦·罗西，帕斯卡尔·科尔波，
申请(专利权)人：欧洲联盟，由欧洲委员会代表，普莱斯莫尔有限责任公司，
类型：
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