一种靶材厚度测量仪制造技术

本发明专利技术公开了一种靶材厚度测量仪，涉及测量工具的技术领域，为了可以提高测量数据的准确性，以及能够简化测量靶材厚度的测量过程、提高工作效率而发明专利技术。所述靶材厚度测量仪包括支撑体，测距单元，所述支撑体用于设置在与靶材的待测区相对的一侧，所述支撑体上支撑所述测距单元，所述测距单元与所述待测区相对设置，且所述测距单元用于测量所述靶材的厚度。本发明专利技术主要用于测量靶材的余量。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材厚度测量仪
本专利技术涉及测量工具的
，尤其涉及一种靶材厚度测量仪。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。换言之，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，在溅射(Sputter)工艺中，当不同功率密度、不同输出能能量的高能粒子与不同的靶材相互作用时，会产生不同的溅射效应。在进行溅射工艺时，随着基板上薄膜厚度的增加，靶材逐渐被消耗，靶材的厚度随之减薄。靶材的余量厚度是影响设备工艺调整的重要参数，通过此参数，不但可以判断靶材是否需要更换，而且还可以为设备工艺参数进行再次调整，以进一步提高靶材利用率而提供依据。目前测量靶材余量厚度的专用工具采用传统的测量工具:游标卡尺。测量时首先将具有平整表面的工具(例如钢尺)平放在靶材的待测表面上，再用游标卡尺以钢尺为基准测出钢尺与靶材待测表面之间的距离，然后记录此时游标卡尺测得的数据，最后根据靶材在进行溅射工艺之前的已知厚度，可以计算出靶材的余量厚度。此测量方法通常需要一个人手拿游标卡尺进行测量、并同时保持游标卡尺与钢尺之间的垂直，另一个人记录数据，但是手拿游标卡尺会不可避免地使游标卡尺晃动或倾斜，导致测量的数据不准确，而且此测量方法需要两个人共同协作完成，操作过程较为繁琐，降低工作效率。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供了一种靶材测厚度量仪，不但能够较好地提高测量数据的准确性，而且能够简化测量靶材厚度的测量过程、提高工作效率。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案:本专利技术实施例提供了一种靶材厚度测量仪，包括支撑体，测距单元，所述支撑体用于设置在与靶材的待测区相对的一侧，所述支撑体上支撑所述测距单元，所述测距单元与所述待测区相对设置，且所述测距单元用于测量所述靶材的厚度。其中，所述支撑体包括底座和支撑板，所述支撑板固定在所述底座上，所述支撑板上支撑所述测距单元，所述支撑板设置在与所述靶材的待测区相对的一侧。其中，所述底座用于支撑在一平台上，所述平台用于支撑所述靶材，在所述靶材支撑在所述平台上后，所述支撑板和所述靶材相互平行。可选地，所述底座的数量为两个，且设置在所述支撑体相对的两侧，在两个所述底座支撑在所述平台后，所述靶材位于两个所述支撑体之间。可选地，所述支撑板和所述底座一体成型。进一步地，所述支撑板上设有滑槽，所述滑槽滑动连接有滑动件，所述滑动件上安装所述测距单元。进一步地，所述滑动件包括滑台和滑块，所述滑台容纳在所述滑槽内，所述滑台和所述滑块可旋转的连接，通过旋转所述滑块使所述测距单元靠近或远离所述靶材的待测区。其中，所述滑块上设有转动旋钮，通过所述转动旋钮使所述滑块发生转动。进一步地，所述滑块设有安装孔，所述安装孔内安装所述测距单元，在所述滑块垂直于所述支撑板时，所述安装孔的轴向垂直于所述靶材的待测区。优选地，所述测距单元为电子感应测距单元。当所述测距单元为电子感应测距单元时，所述电子感应测距单元包括测量杆、弹簧、滚珠、电子感应刻度尺、控制器以及显示组件，所述测量杆和所述弹簧安装在所述安装孔内，且所述测量杆的一端将所述弹簧压缩在所述安装孔内，所述测量杆的另一端伸出所述安装孔、并与所述滚珠滚动连接，所述滚珠接触所述靶材的待测区，所述电子感应刻度尺设置在所述测量杆上，且所述电子感应刻度尺设置在所述电连接所述控制器，所述控制器电连接所述显示组件。可选地，所述电子感应测距单元包括测距传感器、控制器以及显示组件，所述测距传感器与所述靶材的待测区相对且安装在所述滑块上，所述测距传感器电连接所述控制器，所述控制器电连接所述显示组件。进一步地，所述显示组件包括显示主体、以及嵌在所述显示主体内的显示屏，所述显示主体安装在所述滑块上，且所述显示主体上设有开关按键、归零按键、最大值按键、最小值按键以及平均值按键。本专利技术实施例提供的一种靶材厚度测量仪，包括支撑体，测距单元，所述支撑体用于设置在与靶材的待测区相对的一侧，所述支撑体上支撑所述测距单元，所述测距单元与所述待测区相对设置，且所述测距单元用于测量所述靶材的厚度，这与
技术介绍
中的手握测距单元相比，本专利技术可以直接通过支撑体来支撑测距单元，避免出现由手握测距单元而引起测距单元的晃动或倾斜，提高测量数据的准确性，而且在操作者通过测距单元测出靶材的厚度后，操作者可以单独完成数据的记录，而不需要两个人的协作，简化了操作过程，提高了工作效率。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪的示意图之一；图2为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪的示意图之二 ；图3为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪的示意图之三；图4为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪测量靶材的示意图。图5为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪中测距单元的示意图；图6为本专利技术实施例提供的靶材厚度测量仪中显示组件的示意图。【附图说明】:100-靶材厚度测量仪，10-支撑体，101-支撑板，102-底座，103-滑槽，11-测距单元，110-测量杆，111-弹簧，112-滚珠，113-电子感应刻度尺，114-显示主体，115-显示屏，12-滑动件，120-滑块，121-滑台，13-转动旋钮，130-定位珠，200-革巴材，201-待测区，300-背铜板【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参照图1所示，本专利技术实施例提供了一种靶材厚度测量仪100，包括支撑体10，测距单元11，其中，支撑体10用于设置在与图4所示的靶材200的待测区201相对的一侧，且支撑体10支撑在平台(可以指下述的背铜板300或固定平台)上；测距单元11支撑在支撑体10上，且与靶材200的待测区201相对设置，测距单元11用于测量靶材200的厚度。这与
技术介绍
中的手握测距单元11相比，本专利技术可以直接通过支撑体10来支撑测距单元11，避免出现由手握测距单元11而引起测距单元11的晃动或倾斜，提高测量数据的准确性，而且在操作者通过测距单元11测出靶材200的厚度后，操作者可以单独完成数据的记录，而不需要两个人的协作，简化了操作过程，提高了工作效率。如
技术介绍
所述，在溅射(Sputter)工艺中，随着基板(如玻璃基板)上薄膜厚度的增加，靶材逐渐被消耗，靶材的厚度随之减薄。在完成溅射工艺后，靶材的余量厚度是影响设备工艺调整的重要参数。由于靶材在溅射后会形成凹凸不平的波峰表面，因此一般将残余靶材的最小厚度作为靶材的余量，而靶材余量的测量，通常选在靶材上凹进去的区域进行，测量时，首先测量残余靶材上某一区域的最深点的靶材厚度，然后移动测距单元测量下一区域的最深点的靶材厚度，这样获取多个测量数据后，通过比较得出残余靶材的余量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材厚度测量仪，其特征在于，包括支撑体，测距单元，所述支撑体用于设置在与靶材的待测区相对的一侧，所述支撑体上支撑所述测距单元，所述测距单元与所述待测区相对设置，且所述测距单元用于测量所述靶材的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种靶材厚度测量仪，其特征在于，包括支撑体，测距单元，所述支撑体用于设置在与靶材的待测区相对的一侧，所述支撑体上支撑所述测距单元，所述测距单元与所述待测区相对设置，且所述测距单元用于测量所述靶材的厚度。2.根据权利要求1所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述支撑体包括底座和支撑板，所述支撑板固定在所述底座上，所述支撑板上支撑所述测距单元，所述支撑板设置在与所述靶材的待测区相对的一侧。3.根据权利要求2所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述底座用于支撑在一平台上，所述平台用于支撑所述靶材，在所述靶材支撑在所述平台上后，所述支撑板和所述靶材相互平行。4.根据权利要求2所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述底座的数量为两个，且设置在所述支撑体相对的两侧，在两个所述底座支撑在所述平台后，所述靶材位于两个所述支撑体之间。5.根据权利要求2-4任一项所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述支撑板和所述底座一体成型。6.根据权利要求2所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述支撑板上设有滑槽，所述滑槽滑动连接有滑动件，所述滑动件上安装所述测距单元。7.根据权利要求6所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述滑动件包括滑台和滑块，所述滑台容纳在所述滑槽内，所述滑台和所述滑块可旋转的连接，通过旋转所述滑块使所述测距单元靠近或远离所述靶材的待测区。8.根据权利要求7所述的靶材厚度测量仪，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李胜斌，高连龙，董斌，车奉周，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：