感光性膜的剥离装置及剥离方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种感光性膜的剥离装置及剥离方法。基底自动剥离装置（１４２）包括：预剥离部（１４４），其在从玻璃基板（２４）上剥离基底膜（２６）前，按压在所述玻璃基板（２４）间露出的残存部分（３０ｂ），使所述残存部分（３０ｂ）从所述玻璃基板（２４）上剥离；剥离辊（１４６），其配置在所述预剥离部（１４４）的下游侧，将所述基底膜（２６）从所述玻璃基板（２４）上剥离；剥离辊移动部（１４８），其在暂且使所述玻璃基板（２４）的搬送停止时，按箭头Ｃ方向或箭头Ｄ方向搬送所述剥离辊（１４６）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将层叠有支承层和至少感光材料层的感光性膜(感光性ウエブ)以所述感光材料层侧朝向基板的方式与所述基板粘接后，使所述支承层与在所述基板间露出的所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离的感光性膜的剥离装置及剥离方法。
技术介绍
例如，在液晶面板用基板、印刷布线用基板、PDP面板用基板中，构成为在基板表面贴附具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性膜)的结构。感光性片体在挠性塑料支承体上依次层叠感光材料层和保护膜。因此，在此种感光性片体的贴附中使用的贴附装置(层压装置)，通常采用在以规定的间隔使玻璃基板或树脂基板等基板隔开并进行搬送的同时，对应于在所述基板上贴附的感光材料层的范围，从所述感光性片体上剥离保护膜的方式。例如，已知一种在JP特开2003-337411号公报中公开的感光层转印装置。此感光层转印装置包括：基板供给单元，按固定间隔供给基板；薄膜前处理单元，对准所述基板的转印区域，切断感光层及保护膜(覆盖膜)，仅剥离此切断的所述转印区域的覆盖膜；热压接单元，向来自所述基板供给单元的基板供给被所述薄膜前处理单元剥离了保护膜的叠层体膜，使被剥离了所述保护膜的感光层区域和所述转印区域一致，在所述转印区域上热压接所述感光层区域；预备剥离单元，在通过所述热压接单元热压接有叠层体膜的各基板之间，向从基板上剥离叠层体膜的方向按压，至少剥离保护膜和基板；以及剥离单元，从基板上剥离构成所述叠层体膜的支承体。由此，由于在各基板间，至少预先使保护膜和基板剥离，所以能够使-->所述保护膜稳定地与支承体一起被剥离，能够防止其在工序内落下，成为不良异物，或者残留在所述基板上，导致该基板的搬送异常和品质异常。
技术实现思路
本专利技术涉及此种支承层(支承体)的剥离，其目的在于，提供一种感光性膜的剥离装置及剥离方法，能够以简单的结构及工序，良好且高品质地执行向基板上的层压处理，使层压精度提高。本专利技术涉及一种感光性膜的剥离装置及剥离方法，在将层叠有支承层和至少感光材料层的感光性膜以所述感光材料层侧朝向基板的方式与所述基板粘接后，使所述支承层与在所述基板间露出的所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离。剥离装置包括：预剥离部，其在从基板上剥离支承层前，按压在所述基板间露出的感光性膜的一部分，从所述基板上剥离所述感光性膜的一部分；剥离夹具，其配置在所述预剥离部的下游，将所述支承层与所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离；以及剥离夹具移动部，其在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使所述剥离夹具至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。而且，优选在剥离夹具的下游设置至少向基板喷出除电气体的除电机构。此外，剥离方法具有在将支承层与感光性膜的一部分一体地从基板上剥离之前，按压在暂且停止搬送的所述基板间露出的所述感光性膜的一部分，使所述感光性膜的一部分从所述基板上剥离的预剥离工序，并且，在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使所述剥离夹具至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。在本专利技术中，由于通过预剥离部剥离在基板间露出的感光性膜的一部分，所以能够通过剥离夹具容易且可靠地将支承层与所述感光性膜的一部分一起从所述基板上剥离。而且，在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使剥离夹具向基板搬送方向或相反方向移动。因此，剥离夹具不维持局部地压接在停止的基板上的感光性膜上的状态，例如，能够可靠地阻止在所述感光性膜中产生条纹-->(スジ)等。由此，能够以简单的结构及工序，良好地且高品质地执行向基板上的层压处理，提高层压精度。在参照附图说明以下的优选实施方式例后，将会更加明确所述目的、特征及优点。附图说明图1是组合本专利技术的实施方式的剥离装置的感光性叠层体的制造装置的简要结构图。图2是在所述制造装置中使用的长条状感光性膜的剖面图。图3是将粘接标签粘接在所述长条状感光性膜上的状态的说明图。图4是基底自动剥离装置的结构说明图。图5是所述基底自动剥离装置的侧面说明图。图6是从所述感光性膜上剥离保护膜时的说明图。图7是说明本专利技术的剥离方法的时间图。图8是预剥离部的动作说明图。具体实施方式图1是组合本专利技术的实施方式的剥离装置的感光性叠层体的制造装置20的简要结构图。此制造装置20在液晶或有机EL用滤色器的制造工序中，执行将长条状感光性膜22a、22b的各感光性树脂层28(后述)并列，并热转印在玻璃基板24上的作业。下面，层压有感光性膜22a、22b的玻璃基板24也称为贴附基板24a。分别按规定的宽度尺寸设定感光性膜22a、22b，例如，所述感光性膜22a构成得比所述感光性膜22b的宽度宽。图2是在制造装置20中使用的感光性膜22a、22b的剖面图。此感光性膜22a、22b的基本结构为层叠有挠性基底膜(支承层)26、感光性树脂层(感光材料层)28和保护膜30。如图1所示，制造装置20包括：第1及第2膜送出机构32a、32b，其收容以辊状卷绕了感光性膜22a、22b的2根(也可以2根以上)感光性膜辊23a、23b，能够从各感光性膜辊23a、23b同步送出所述感光性膜-->22a、22b；第1及第2加工机构36a、36b，其在送出的各感光性膜22a、22b的保护膜30上形成作为在宽度方向上可切断的边界位置的半切割部位34；第1及第2标签粘接机构40a、40b，其将在一部分具有非粘接部38a的粘接标签38(参照图3)粘接在各保护膜30上。在第1及第2标签粘接机构40a、40b的下游配置：用于将各感光性膜22a、22b从间歇输送变更为连续输送的第1及第2贮存器机构42a、42b；从各感光性膜22a、22b上以规定的长度间隔剥离保护膜30的第1及第2剥离机构44a、44b；在将玻璃基板24加热到规定的温度的状态下将其搬送到贴附位置的基板搬送机构45；将因所述保护膜30的剥离而露出的感光性树脂层28一体且并列地贴附在所述玻璃基板24上的贴附机构46。在贴附机构46中的贴附位置的上游附近配置直接检测作为各感光性膜22a、22b的边界位置的各半切割部位34的第1及第2检测机构47a、47b。在第1及第2膜送出机构32a、32b的下游附近配置贴附大致使用完的感光性膜22a、22b的后端和新使用的感光性膜22a、22b的前端的各贴附台49。在贴附台49的下游配置用于控制因感光性膜辊23a、23b的偏卷而导致的宽度方向的偏移的薄膜终端位置检测器51。在此，虽然薄膜终端位置调整，通过使第1及第2膜送出机构32a、32b在宽度方向上移动来进行，但也可以通过附设组合了辊的位置调整机构来进行。再有，第1及第2膜送出机构32a、32b，也可以将装填感光性膜辊23a、23b而输出感光性膜22a、22b的输出轴构成为2轴或3轴等多轴。第1及第2加工机构36a、36b，配置在用于计算在第1及第2膜送出机构32a、32b上收容卷绕的各感光性膜辊23a、23b的辊径的辊对50的下游。第1及第2机构机构36a、36b分别包括单一的圆刃52，此圆刃52在感光性膜22a、22b的宽度方向行进，在所述感光性膜22a、22b的规定位置形成半切割部位34。如图2所示，半切割部位34至少需要切断保护膜30，实际上，为了可靠地切断此保护膜30，设置圆刃52的切口深度以便切入到感光性树脂层28乃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性膜的剥离装置，其将层叠有支承层（２６）和至少感光材料层（２８）的感光性膜（２２ａ）以所述感光材料层（２８）侧朝向基板（２４）的方式与所述基板（２４）粘接后，使所述支承层（２６）与在所述基板（２４）间露出的所述感光性膜（２２ａ）的一部分一体地从所述基板上剥离，所述感光性膜的剥离装置的特征在于，具备：预剥离部（１４４），其在从所述基板（２４）上剥离所述支承层（２６）前，按压在所述基板（２４）间露出的所述感光性膜（２２ａ）的一部分，从所述基板（２４）上剥离所述感光性膜（２２ａ）的一部分；剥离夹具（１４６），其配置在所述预剥离部（１４４）的下游，将所述支承层（２６）与所述感光性膜（２２ａ）的一部分一体地从所述基板（２４）上剥离；以及剥离夹具移动部（１４８），其在至少暂且使所述基板（２４）的搬送停止时，使所述剥离夹具（１４６）至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。

【技术特征摘要】
JP 2006-10-27 2006-2931051、一种感光性膜的剥离装置，其将层叠有支承层(26)和至少感光材料层(28)的感光性膜(22a)以所述感光材料层(28)侧朝向基板(24)的方式与所述基板(24)粘接后，使所述支承层(26)与在所述基板(24)间露出的所述感光性膜(22a)的一部分一体地从所述基板上剥离，所述感光性膜的剥离装置的特征在于，具备：预剥离部(144)，其在从所述基板(24)上剥离所述支承层(26)前，按压在所述基板(24)间露出的所述感光性膜(22a)的一部分，从所述基板(24)上剥离所述感光性膜(22a)的一部分；剥离夹具(146)，其配置在所述预剥离部(144)的下游，将所述支承层(26)与所述感光性膜(22a)的一部分一体地从所述基板(24)上剥离；以及剥离夹具移动部(148)，其在至少暂且使所述基板(24)的搬送停止时，使所述剥离夹具(146)至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。2、根据权利要求1所述的感光性膜的剥离装置，其特征在于，所述预剥离部(144)具备：剥离部件(150)，其在暂且使所述基板(24)的搬送停止时，向在所述玻璃基板(24)间露出的所述感光性膜(22a)侧进出；移动机构(152)，其能在基板搬送...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边泰寿，清水诚，秋好宽和，末原和芳，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]