【技术实现步骤摘要】
一种合金型二次电子发射材料激活装置
本技术属于电子发射
，特别提供一种能够在不同激活工艺参数下激活处理合金型二次电子发射材料的激活处理装置。
技术介绍
合金型二次电子发射材料有许多优点，二次电子发射系数大，工作性能稳定，可以承受较大电流密度，无光照暗电流小。在各种电子倍增器件中有着广泛应用。合金型二次电子发射材料主要包括活性成分(如镁、铍)和基体材料两部分。合金型二次电子发射材料主要有镁合金、铍合金两大类。镁合金有Ag-Mg、Cu-Mg, Cu-Al-Mg等。铍合金有Cu-Be、N1-Be等。作为光电倍增管、电子倍增器等电子倍增器件关键部件打拿极的制备材料。获得良好的发射性能，合金材料必须经过激活处理。激活过程就是把合金在氧化气氛中加热，使其中的活性成分向表面扩散偏聚，并在表面氧化生成稳定的氧化膜。激活工艺参数主要包括氧化气氛的成分、压强、加热温度、加热时间等。不同的激活工艺参数对合金材料的发射性能起着至关重要的作用。
技术实现思路
为了满足合金型二次电子发射材料不同激活工艺条件下的工艺参数要求，本技术提供了一种合金型二次电子发射材料激活装置，能够在不同激活工艺参数条件下激活处理合金型二次电子发射材料。本技术具体提供了一种合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于:所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室；其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气体反应制备室可以制取高纯度的氧化性气体，并贮存在气瓶中，气压表用于监测...
【技术保护点】
一种合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室；其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气压表用于监测气体反应制备室与贮气瓶内的气压。
【技术特征摘要】
1.一种合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于:所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室； 其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气压表用于监测气体反应制备室与贮气瓶内的气压。2.按照权利要求1所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于:所述反应室外设有加热装置。3.按照权利要求2所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于:所述加热装置为管式电阻炉。4.按照...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彬，熊良银，李明群，葛鹏，刘实，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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