一种基板检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种基板检测装置，包括：检查部、测量部和判定部；检查部与测量部并列设置，其中检查部用于对基板进行检查并检出缺陷，包括用于获取基板灰度值的图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架；测量部用于对基板的缺陷进行测量，包括用于获取基板特性值的图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架；判定部分别与检查部和测量部连接，测量部对检查部确定的缺陷位置进行特性值测量，根据缺陷位置特性值判定缺陷的等级。本实用新型专利技术改变现有检查和测量独立设计的结构，将检查设备和测量设备集成一体，通过缺陷位置的灰度值和基板特性值的对应关系完成对缺陷等级的自动判定，不仅节省判定的时间，还可以减小人为判定产生的误差。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种基板检测装置
本技术涉及一种基板检测装置，所述检测装置集检查、测量和判定缺陷功能于一体。
技术介绍
彩膜基板为液晶平面显示器(Liquid Crystal Display)彩色化的关键组件。液晶平面显示器为非主动发光之组件，其色彩之显示必需透过内部的背光模块(穿透型LCD)或外部的环境入射光(反射型或半穿透型LCD)提供光源，再搭配驱动IC与液晶控制形成灰阶显示，而后透过彩色滤光片的R、G、B彩色层提供色相，形成彩色显示画面。彩膜基板的基本结构是由玻璃基板01、黑色矩阵02、彩色树脂层03、保护层04，一般穿透式液晶显示器的彩膜基板结构如图1所示。彩膜基板在生产过程中不可避免的会产生宏观缺陷，缺陷的形成是由于膜厚的不均一性。由于彩膜基板上PR膜(photoresist，光刻胶，即彩膜基板中的彩色树脂层)厚度不均一导致的彩色异常，轻重不一，严重等级的缺陷还会影响彩膜基板产品品质，因此一旦发现有缺陷就需要立即进行缺陷等级的判定。一般缺陷等级是根据缺陷区域的特性值与正常区域的特性值存在异常的程度来进行判定的。目前常规的缺陷等级判定方法是缺陷检查机检查出缺陷后，待产品生产完成后再拿去检测，主要是进行特性值的测量，再根据特性值的测量结果判定缺陷等级，大致的判断流程如图2所示，具体包括以下步骤:S1、检查设备发现缺陷；S2、测量设备测量缺陷；S3、工程师根据测量数据对缺陷进行判定。上述常规的缺陷等级判定方法不仅浪费大量时间而且容易发生批量不良。检查缺陷、测量缺陷时两台分开的设备，并且检查只能发现缺陷，测量只起到单纯的数据测量的作用，而判定缺陷是靠工程师根据检查结果和测量的特性值数据进行人为的判定，由于人为判定过程是根据工程师的经验进行判定，极易发生误差，对最后的缺陷等级判定也将会产生较为严重的影响，而且人为判定过程需耗费较长时间，难以提高判定缺陷等级的速率。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题针对上述缺陷，本技术要解决的技术问题是如何将缺陷判定的设备集成为一体，尽量减少不良广品的发生，同时对缺陷等级进行自动判定，提闻判定缺陷等级的效率。(二)技术方案为解决上述问题，本技术提供了一种基板检测装置，具体包括:检查部、测量部和判定部；所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值；所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值；所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。进一步地，所述基板检测装置还包括:机台，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述机台之上；所述第一支架和/或所述第二支架均包括两根支脚和一根支撑杆，所述支撑杆的两端与所述两根支脚的上端固定连接，所述两根支脚的下端固定安装在所述机台上，所述图像采集模块设置于所述第一支架的支撑杆上，所述图像测量模块设置在所述第二支架的支撑杆上。进一步地，所述判定部包括通信模块和判定模块，所述通信模块分别与所述检查部的图像采集模块和所述测量部的图像测量模块连接。进一步地，所述图像采集模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器。进一步地，所述图像采集模块包括三个电荷耦合元件图像传感器，所述图像采集模块固定设置于所述第一支架的支撑杆上；所述图像测量模块包括一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块可移动地设置于所述第二支架的支撑杆上，所述图像测量模块可以沿所述第二支架的支撑杆移动。进一步地，所述基板检测装置还包括:传输单元，平行设置于所述机台上，能在所述机台上进行前后移动，用于承载和传输待检测基板。进一步地，所述机台周边设置有标尺，所述机台上的标尺与放置在所述传输单元上的基板边缘进彳丁比对，建立基板坐标和机台坐标的对应关系。进一步地，所述检查部中的电荷耦合元件图像传感器获取所述基板的图像，根据所述缺陷位置的灰度值与所述基板正常区域的灰度值之间的差异确定缺陷位置，并将所述缺陷位置和所述缺陷位置的灰度值通过所述通信模块发送给所述判定模块。进一步地，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部中的电荷耦合元件图像传感器对所述缺陷位置进行特性值测量，得到所述缺陷位置特性值，并将所述缺陷位置特性值再通过所述通信模块发送给所述判定模块。进一步地，所述判定模块根据所述缺陷位置特性值和所述基板上正常区域的特性值之间的差异确定缺陷等级，并根据所述缺陷位置的灰度值与所述缺陷位置特性值的对应关系建立数据库，所述数据库中的缺陷位置特性值与所述缺陷等级具有匹配关系。(三)有益效果本技术提出了一种基板检测装置，改变现有检测装置将检查和测量独立设计的结构，将缺陷检查设备和缺陷测量设备集成一体，通过缺陷位置的灰度值和基板特性值的对应关系完成对缺陷等级的自动判定，减少因等待导致的生广线空闲时间，提闻生广线的产能，还能减小由于人为判定产生的误差，提高判定的精准度。【附图说明】图1为彩膜基板结构示意图；图2为现有技术中判定缺陷的方法流程图；图3为本技术一种基板检测装置的结构示意图；图4为本技术一种基板检测装置中检查部的结构示意图；图5为本技术一种基板检测装置中测量部的结构示意图；图6为本技术中机台上表面的示意图。其中各编号代表结构如下:O1、玻璃基板，02、黑色矩阵，03、彩色树脂层，04、保护层，，10、检查部，20、测量部，11、第一支架，12、图像采集模块，21、第二支架，22、图像测量模块，40、机台，50、传输单元。【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本技术的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。本技术实施例中提供了一种基板检测装置，组成结构示意图如图3所示，具体包括:检查部10、测量部20和判定部，其中判定部在图3中未显示。检查部10与测量部20并列设置，其中检查部10用于对基板进行检查并检查出缺陷，包括图像采集模块12和用于承载图像采集模块12的第一支架11，图像采集模块12中包括至少一个电荷I禹合元件(Charge-coupled Device,即CCD)图像传感器,用于根据基板图像获取缺陷位置的灰度值，检查部10的结构示意图如图4所示。测量部20用于对基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块22和用于承载图像测量模块22的第二支架21，图像测量模块22包括至少一个电荷耦合元件图像传感器，用于根据基板图像获取基板的特性值，测量部20的结构示意图如图5所示。判定部分别与检查部10和测量部20连接，检查部10根据灰度值确定缺陷位置，判定部将缺陷位置信息传输给测量部20，测量部20对缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，判定部再根据缺陷位置特性值判定缺陷的等级。判定部包括通信模块和判定模块，通信模块分别与检查部10的图像采集模块12和测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检测装置，其特征在于，具体包括：检查部、测量部和判定部；?所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值；?所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值；?所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。

【技术特征摘要】
1.一种基板检测装置，其特征在于，具体包括:检查部、测量部和判定部； 所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值； 所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值； 所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括: 机台，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述机台之上； 所述第一支架和/或所述第二支架均包括两根支脚和一根支撑杆，所述支撑杆的两端与所述两根支脚的上端固定连接，所述两根支脚的下端固定安装在所述机台上，所述图像采集模块设置于所述第一支架的支撑杆上，所述图像测量模块设置在所述第二支架的支撑杆上。3.根据权利要求1或2所述的基板检测装置，其特征在于，所述判定部包括通信模块和判定模块，所述通信 模块分别与所述检查部的图像采集模块和所述测量部的图像测量模块连接。4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器。5.根据权利要求4所述的基板检测装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学刚，周鹏，章旭，齐勤瑞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：