支撑及控制基板的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术的实施方式提供用于在热处理期间支撑与控制基板的装置与方法。本发明专利技术的一个实施方式提供用于处理基板的装置。该装置包含腔室主体、基板支撑件以及辅助力组件，该腔室主体界定内部容积，该基板支撑件被布置在该内部容积内，该辅助力组件被配置成用以施加辅助力于基板。另一个实施方式提供气体输送组件，该气体输送组件被配置成用以调整被输送的流体流的热质量以定位、控制和/或旋转基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于处理基板的装置，所述装置包含：腔室主体，所述腔室主体界定内部容积；基板支撑件，所述基板支撑件被布置在所述内部容积内，其中所述基板支撑件包含基板支撑件主体，所述基板支撑件主体具有上表面与多个通口，所述多个通口形成于所述上表面上以将多个流体流输送至基板区域，所述基板区域靠近所述上表面；及辅助力组件，所述辅助力组件用以在所述基板区域内输送辅助力。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：布莱克·凯尔梅尔，约瑟夫·M·拉内什，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：