一种用于键合引线拉力测试的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于键合引线拉力测试的装置，包括拉钩、待测件安装机构、拉钩位置调整机构和拉伸机，待测件安装机构包括待测件固定板和水平底座，该待测件固定板垂直水平底座，待测件可拆卸地安装在待测件固定板的第一面上；拉钩位置调整机构包括水平轨道和与其垂直的竖直轨道，该竖直轨道的轨道开口与待测件固定板的第一面相对，拉钩安装在竖直轨道中，并能沿竖直轨道上下移动；拉伸机具有两个滑块、位移传感器和设置在第一滑块上的拉力传感器；水平底座安装在第一滑块上的拉力传感器上；水平轨道安装在第二滑块上，使得安装在竖直轨道上的拉钩能够相对待测件左右移动。本发明专利技术实现了对拉钩位置的调整，从而提高了键合引线拉力测试的灵活性。

【技术实现步骤摘要】
—种用于键合引线拉力测试的装置
本专利技术涉及半导体测试
，特别涉及一种用于键合引线拉力测试的装置。
技术介绍
引线键合是集成电路封装、微机电系统(MEMS, Micro-Electro-MechanicalSystems)封装和功率半导体器件封装中实现芯片之间、芯片和散热基板以及芯片和外部电气互连的主要技术。由于键合工艺质量，特别是键合引线的拉力大小，直接关系到产品的可靠性和寿命，因此对于键合工艺参数的检测就显得尤为重要。引线键合拉力是衡量/评价键合工艺质量的重要参数之一，因此需要引线键合拉力测试仪对完成键合工艺后的试件/样品的键合引线进行拉力测试，通过评估引线键合拉力值来确定键合工艺是否满足产品可靠性要求。所以引线键合拉力测试装置非常重要。目前，对于引线键合拉力测试一般使用专用的拉力测试仪。该拉力测试仪具有机箱、显示器、测试平台、设置在机箱上与测试平台位置对应的观测目镜。测试过程通常为:I)将待测件水平固定在测试平台上；2)用观测目镜观察待测件位置，并人工调整待测件位置；3)用连接有拉力传感器的挂钩垂直钩住待测件的引线，并为其施加垂直向上的拉力；4)该拉力传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于键合引线拉力测试的装置，包括拉钩，其特征在于：还包括待测件安装机构、拉钩位置调整机构和拉伸机；所述待测件安装机构包括待测件固定板和水平底座，该待测件固定板垂直设置在水平底座上，待测件可拆卸地平行安装在待测件固定板的第一面上；所述拉钩位置调整机构包括水平轨道和与其垂直的竖直轨道，该竖直轨道通过底部的安装片安装在水平轨道中，并能沿水平轨道移动，该竖直轨道的轨道开口与待测件固定板的第一面相对，拉钩通过其一端的固定块安装在竖直轨道中，并能沿竖直轨道上下移动；所述拉伸机具有能够在水平方向相对滑动的两个滑块、与两个滑块相连的位移传感器和设置在第一滑块上的拉力传感器；所述待测件安装机构的水平底座安装...

【技术特征摘要】
1.一种用于键合引线拉力测试的装置，包括拉钩，其特征在于:还包括待测件安装机 构、拉钩位置调整机构和拉伸机；所述待测件安装机构包括待测件固定板和水平底座，该待测件固定板垂直设置在水平 底座上，待测件可拆卸地平行安装在待测件固定板的第一面上；所述拉钩位置调整机构包括水平轨道和与其垂直的竖直轨道，该竖直轨道通过底部的 安装片安装在水平轨道中，并能沿水平轨道移动，该竖直轨道的轨道开口与待测件固定板 的第一面相对，拉钩通过其一端的固定块安装在竖直轨道中，并能沿竖直轨道上下移动； 所述拉伸机具有能够在水平方向相对滑动的两个滑块、与两个滑块相连的位移传感器 和设置在第一滑块上的拉力传感器；所述待测件安装机构的水平底座安装在第一滑块上的 拉力传感器上；所述拉钩位置调整机构的水平轨道安装在第二滑块上，使得安装在竖直轨 道上的拉钩能够相对待测件左右移动。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于:所待测件安装机构还包括待测件固定块； 所述待测件固定板上具有四个独立的一字孔组成的十字孔；所述的待测件固定块具有压块和与之相连的螺柱，当有待测件安装在所述待测件固定 板时，所述压块压住所述待测件，螺柱穿过所述十字孔，通过螺母固定。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于:所述待测件固定板的第一面上设置有与待 测件长度或宽度相配合的平行轨道，待测件沿长度方向或宽度方向插入平行轨道进行固定。4.如权利要求1所述的装置，其特征在于:所述水平轨道的开口截面为凸字形...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑利兵，吕晓飞，韩立，王春雷，方化潮，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：