制造有机发光显示设备的方法和有机发光显示设备技术

公开了一种制造有机发光显示设备的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示设备。制造有机发光显示设备的方法包括：在基板上连续地沉积线性图案的有机层；在有机层上沉积第二电极；在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。

Method of manufacturing organic light emitting display device and organic light emitting display device

A method of manufacturing an organic light emitting display device and an organic light emitting display device manufactured using the method are disclosed. A method of manufacturing an organic light emitting display device includes: continuously depositing an organic layer of linear patterns on a substrate; depositing second electrodes on an organic layer; forming a passivation layer on a second electrode to cover the second electrode.

【技术实现步骤摘要】
制造有机发光显示设备的方法和有机发光显示设备本申请要求于2012年7月10日在韩国知识产权局提交的第10-2012-0075143号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
本专利技术实施例的多个方面涉及一种制造有机发光显示设备的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示设备。
技术介绍
有机发光显示设备与其它显示装置相比具有更宽的视角、更好的对比度特性以及更快的响应速度，因此作为下一代显示装置已经备受关注。有机发光显示设备包括设置在布置成彼此相对的第一电极和第二电极之间的包括发射层的中间层。可以利用各种方法形成电极和中间层，方法之一是独立沉积法。当使用沉积法制造有机发光显示设备时，具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模（FMM）被设置成紧密地接触其上形成有有机层等的基板，并且在FMM上沉积有机层材料来形成具有期望图案的有机层。然而，使用这种FMM的沉积法在使用大的母玻璃制造较大的有机发光显示设备方面存在着困难。例如，当使用这种大掩模时，掩模可能会由于自重而弯曲，从而使图案扭曲。这样的缺点并不有利于近来朝着高清晰图案发展的趋势。另外，使基板和FMM对准以彼此紧密地接触的工艺、对其执行沉积的工艺以及使FMM与基板分离的工艺是耗时的，导致制造时间长且生产效率低。在该
技术介绍
部分公开的信息对于本专利技术的专利技术人而言在实现本专利技术之前是已经知晓的，或者可以包括在实现本专利技术的过程中获取的技术信息。因此，该信息可能包含对本领域普通技术人员而言在本国不构成已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
根据本专利技术实施例的多个方面，制造有机发光显示设备的方法适合用在大基板的批量生产中并且能够实现高清晰度图案化，可以利用该方法来制造有机发光显示设备。根据本专利技术的一个实施例，一种制造有机发光显示设备的方法包括：在基板上连续地沉积线性图案的有机层；在有机层上沉积第二电极；在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。在有机层上沉积第二电极的步骤可以包括针对多个面板中的每个面板，在有机层上沉积第二电极，在第二电极上形成钝化层的步骤可以包括在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。在有机层上沉积第二电极的步骤可以包括在有机层上连续地沉积线性图案的第二电极，在第二电极上形成钝化层的步骤可以包括在第二电极上连续地形成线性图案的钝化层以覆盖第二电极。钝化层可以包括从由三(8-羟基喹啉铝)（Alq3）、苯基咔唑类化合物和芴类化合物组成的组中选择的一种或多种材料。在形成钝化层之后，所述方法还可以包括去除所述多个面板的相邻的面板之间的有机层。去除相邻的面板之间的有机层的步骤可以包括通过使用包含氧（O2）的等离子体的化学蚀刻来去除有机层。在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤可以包括：提供包括沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的薄膜沉积设备使得薄膜沉积设备与基板分隔开，其中，沉积源包含沉积材料，沉积源喷嘴单元布置在沉积源的侧面处并且包括多个沉积源喷嘴，图案化缝隙片布置成面向沉积源喷嘴单元并且其内形成有多个图案化缝隙；在沉积过程中使薄膜沉积设备和基板中的至少一个相对于另一个移动；从沉积源喷射沉积材料以穿过图案化缝隙片进行沉积并在基板上形成图案。图案化缝隙片可以在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小。沉积源喷嘴可以沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，图案化缝隙可以沿第一方向布置在图案化缝隙片中，薄膜沉积设备还可以包括屏蔽板组件，屏蔽板组件沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并且包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间的多个屏蔽板。所述多个屏蔽板中的每个屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向延伸。屏蔽板组件可以包括：第一屏蔽板组件，包括多个第一屏蔽板；第二屏蔽板组件，包括多个第二屏蔽板。所述多个第一屏蔽板中的每个第一屏蔽板和所述多个第二屏蔽中的每个第二屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向形成，并且可以将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间。沉积源喷嘴可以沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，图案化缝隙可以沿垂直于第一方向的第二方向布置在图案化缝隙片中。沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片可以通过连接构件彼此结合而彼此一体地形成。连接构件可以引导沉积材料的流动路径。连接构件可以形成为从外部密封沉积源、沉积源喷嘴单元与图案化缝隙片之间的空间。在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤可以包括：提供包括输送单元、装载单元、沉积单元和卸载单元的薄膜沉积设备，其中，输送单元包括使基板固定并且与基板一起移动的传递单元、使固定有基板的传递单元沿第一方向移动的第一输送单元以及在已经完成沉积时使与基板分开的传递单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元，装载单元将基板固定到传递单元，沉积单元包括处于真空的室以及将有机层沉积在被固定到从装载单元传递的传递单元的基板上的至少一个有机层沉积组件，卸载单元使已经在穿过沉积单元的同时完成了沉积的基板与传递单元分开，使得薄膜沉积设备和基板彼此分隔开；在沉积过程中使薄膜沉积设备和基板中的至少一个相对于另一个移动；从沉积源喷射沉积材料以穿过图案化缝隙片进行沉积并在基板上形成图案。传递单元可以在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，被固定到传递单元的基板可以在第一输送单元的作用下移动的同时与有机层沉积组件分隔开一定的距离。第一输送单元和第二输送单元可以穿过沉积单元。第一输送单元和第二输送单元可以沿竖直方向平行地布置。第一输送单元可以将传递单元顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元。第二输送单元可以将传递单元顺序地移动到卸载单元、沉积单元和装载单元。在形成钝化层之后，所述方法还可以包括去除多个面板中相邻的面板之间的有机层。去除相邻的面板之间的有机层的步骤可以包括通过使用包含氧（O2）的等离子体的化学蚀刻来去除有机层。根据本专利技术的另一实施例，一种有机发光显示设备是通过使用上面描述的方法制造的。根据本专利技术的另一实施例，一种有机发光显示设备包括：基板；多个薄膜晶体管，形成在基板上，并且均包括半导体有源层、与半导体有源层绝缘的栅电极以及与半导体有源层接触的源电极和漏电极；多个第一电极，形成在所述多个薄膜晶体管的每个薄膜晶体管上，以电连接到该薄膜晶体管；多个有机层，形成在所述多个第一电极上；第二电极，形成在所述多个有机层上；钝化层，形成在第二电极上，以覆盖第二电极，其中，形成在基板上的所述多个有机层中的离沉积区域的中心较远的至少一个有机层的斜边的长度大于离所述中心较近地形成的其它有机层的斜边的长度，其中，形成在基板上的所述多个有机层中的所述至少一个有机层是利用上面描述的方法形成的线性图案化的有机层。钝化层可以包括从由三(8-羟基喹啉铝)（Alq3）、苯基咔唑类化合物和芴类化合物组成的组中选择的至少一种材料。基板可以具有大于或等于40英寸的尺寸。所述多个有机层至少可以包括一个发射层。有机层可以具有不一致的厚度。在离沉积区域的中心较远地形成的每个有机层中，离沉积区域的中心较远的斜边的长度可以大于另一斜边的长度。在设置在沉积区域中的所述多个有机层中，随着离沉积区域的中心的距离的增大，在第一方向上延伸的两侧的叠置区域可以形成地越窄。设置在沉积区域的中心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造有机发光显示设备的方法，所述方法包括下述步骤：在基板上连续地沉积线性图案的有机层；在有机层上沉积第二电极；以及在第二电极上形成钝化层。

【技术特征摘要】
2012.07.10 KR 10-2012-00751431.一种制造有机发光显示设备的方法，所述方法包括下述步骤：在基板上连续地沉积线性图案的有机层，基板包括布置在一个方向上的多个面板，线性图案在所述多个面板的相邻面板之间是连续的；在有机层上沉积第二电极；在第二电极上形成钝化层；以及在形成钝化层之后，从所述相邻面板的第一面板的外周区域以及从所述相邻面板的第二面板的外周区域去除有机层，其中，第二面板的外周区域沿所述一个方向与第一面板的外周区域相邻。2.如权利要求1所述的方法，其中，在有机层上沉积第二电极的步骤包括针对多个面板中的每个面板，在有机层上沉积第二电极，其中，在第二电极上形成钝化层的步骤包括在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。3.如权利要求1所述的方法，其中，在有机层上沉积第二电极的步骤包括在有机层上连续地沉积线性图案的第二电极，其中，在第二电极上形成钝化层的步骤包括在第二电极上连续地形成线性图案的钝化层以覆盖第二电极。4.如权利要求1所述的方法，其中，钝化层包括从由三(8-羟基喹啉铝)、苯基咔唑类化合物和芴类化合物组成的组中选择的一种以上的材料。5.如权利要求1所述的方法，其中，在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤包括：提供包括沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的薄膜沉积设备使得薄膜沉积设备与基板分隔开，其中，沉积源包含沉积材料，沉积源喷嘴单元布置在沉积源的侧面处并且包括多个沉积源喷嘴，图案化缝隙片布置成面向沉积源喷嘴单元并且其内形成有多个图案化缝隙；在沉积过程中使薄膜沉积设备和基板中的至少一个相对于另一个移动；从沉积源喷射沉积材料以穿过图案化缝隙片进行沉积并在基板上形成图案。6.如权利要求5所述的方法，其中，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小。7.如权利要求5所述的方法，其中，所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，其中，所述多个图案化缝隙沿第一方向布置在图案化缝隙片中，其中，薄膜沉积设备还包括屏蔽板组件，屏蔽板组件沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并且包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间的多个屏蔽板。8.如权利要求7所述的方法，其中，所述多个屏蔽板中的每个屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向延伸。9.如权利要求7所述的方法，其中，屏蔽板组件包括：第一屏蔽板组件，包括多个第一屏蔽板；第二屏蔽板组件，包括多个第二屏蔽板。10.如权利要求9所述的方法，其中，所述多个第一屏蔽板中的每个第一屏蔽板和所述多个第二屏蔽板中的每个第二屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向形成，并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间。11.如权利要求5所述的方法，其中，所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，其中，所述多个图案化缝隙沿垂直于第一方向的第二方向布置在图案化缝隙片中。12.如权利要求11所述的方法，其中，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片通过连接构件彼此结合而彼此一体地形成。13.如权利要求12所述的方法，其中，连接构件引导沉积材料的流动路径。14.如权利要求12所述的方法，其中，连接构件形成为从外部密封沉积源、沉积源喷嘴单元与图案化缝隙片之间的空间。15.如权利要求1所述的方法，其中，在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤包括：提供薄膜沉积设备，薄膜沉积设备包括：输送单元，包括使基板固定并且与基板一起移动的传递单元、使固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东规，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：