一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，其中控制方法包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。本发明专利技术所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，其中控制方法包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。本专利技术所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。【专利说明】一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置
本专利技术涉及图像显示领域，尤其涉及一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置。
技术介绍
精密测长机TTP 机台是 TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay,薄膜晶体管液晶显示器)制程重要的光学量测机台，主要用于TFT基板/CF基板(彩色滤光片基板)第一层图案制作时曝光机曝光精度参数总间距(Total Pitch)的量测。Total Pitch量测的基本原理是激光的迈克尔逊干涉，通过干涉条纹强度计算距离。激光的稳定性易受温度影响，所以需要保证机台和量测的玻璃均保持在23±0.1°C。机台放置于恒温室中，玻璃则是先进入机台上方的冷却缓冲机构(Cooling Buffer),定时恒温后再搬入机台量测。若冷却缓冲机构的恒温效果不佳或者与主机台恒温室温度不一致，会导致玻璃进入机台后在量测过程中因温度变化产生热胀冷缩效应，影响Total Pitch的量测准确性和稳定性。所以需要一个稳定而智能的恒温冷却缓冲机构，以高效完成玻璃基板的冷却恒温。目前的TTP机台冷却缓冲机构共4层槽位(Slot)，可设定启用/禁用、恒温时间(仅针对整个冷却缓冲机构，不可单独对某一 Slot设定);开启冷却缓冲机构后，则其所有空的Slot都是可收片状态，可依次连续进片；玻璃在Slot中到达恒温时间后，则向Robot发出取片指令，排到主机台进行量测。其存在的缺点如下: 无法确保每个Slot的玻璃都有相同的冷却(cooling)时间，导致每片的量测条件不一样，量测值出现异常变异。因为进片逻辑为Slot为空就可进片，会出现以下情况:首先假设设定玻璃的冷却时间为20min，而玻璃在主机台的量测时间为IOmin ;冷却缓冲机构为空时，Slot rsiot 4依次进入4片玻璃(时间间隔一般为30秒左右，可忽略不计，认为是同时进片)；Slot I的玻璃到达20min的冷却时间后，先行排到主机台，进行量测，IOmin后量测完成并排片，之后Slot 2的玻璃才进入主机台，而此时Slot 2的玻璃已在冷却缓冲机构中冷却达20+10=30min,以此类推,Slot 3为40min,Slot 4为50min。至此，出现4片玻璃的恒温时间不一致的问题。而实际生产测试发现，受无尘室温度控制精度(23±1°C)和烘烤制程的影响，玻璃在TTP的冷却缓冲机构中冷却(T40min之间会因收缩效应而出现量测值的变化，直到约40min之后趋于稳定，但因为产线节拍时间(tact time)的考量和量测数据需求的即时性，不可能将恒温时间设到40min以上。由上可知，业界迫切需要一种确保玻璃冷却时间一致，以提高量测准确性的进出片控制方式。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，确保玻璃冷却时间一致，以提高量测准确性。为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括: 步骤SI,在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时,启动计时； 步骤S2,计时达到第一时间Tl时,启动下一优先级的Slot进片。其中，在所述步骤SI之前，还包括:为所述冷却缓冲机构中的各层Slot设置进片优先级。其中，所述冷却缓冲机构中的各层Slot形成时间互锁循环。其中，所述Tl等于或略大于T，T为进入所述冷却缓冲机构的玻璃在主机台的单片量测时间与进出片时间之和。其中，所述步骤SI进一步包括: 所述当前优先级的Slot完成进片时，生成进片完成信号； 所述进片完成信号触发计时。其中，所述步骤S2进一步包括: 计时达到Tl后，所述下一优先级的Slot生成可进片信号，启动所述Slot进片。其中，每一 Slot的玻璃完成冷却出片后，所述Slot生成不可进片信号，恢复为不可进片状态，等待下一次触发计时。其中，某一优先级的Slot出现异常并且其内没有玻璃时，将其禁用。其中，所述被禁用的Slot退出所述时间互锁循环，当其被解除禁用后，变为不可进片状态，加入所述时间互锁循环，等待其上一优先级的Slot来触发其进片计时。其中，如果所述Slot在计时过程中被禁用，则禁用的同时直接触发启动其下一优先级的Slot计时,达到Tl时启动所述下一优先级的Slot进片。其中，如果所述下一优先级的Slot已有玻璃在做冷却，则等待玻璃排出后再启动计时。其中，在某一 Slot完成进片后，通过触发排片开始信号实时进行排片。本专利技术还提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制装置，包括:启动单元，用于当前优先级的Slot完成进片时,启动计时单元计时；以及在所述计时单元计时达到第一时间Tl时，启动下一优先级的Slot进片。其中，所述启动单元还包括: 第一信号生成单元，用于当前优先级的Slot完成进片时，生成进片完成信号，所述进片完成信号触发所述计时单元计时；以及 第二信号生成单元，用于在所述计时单元计时达到第一时间Tl时，生成下一优先级的Slot的可进片信号，所述可进片信号启动所述下一优先级的Slot进片。其中，还包括: 提前排片单元，用于在某一 Slot完成进片后，实时触发排片开始信号进行排片。其中，还包括: 禁用单元，用于在某一优先级的Slot出现异常并且其内没有玻璃时，将其禁用。本专利技术所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。【专利附图】【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例一精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法的流程示意图。图2是本专利技术实施例一的控制时序示意图。图3是本专利技术实施例二精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制装置的结构框图。【具体实施方式】下面参考附图对本专利技术的优选实施例进行描述。请参照图1所示，本专利技术实施例一提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括: 步骤SI,在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时,启动计时； 步骤S2,计时达到第一时间Tl时,启动下一优先级的Slot进片。本实施例通过为冷却缓冲机构的各层Slot设置进片优先级本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文德，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：