一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，其中控制方法包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。本发明专利技术所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，其中控制方法包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。本专利技术所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。【专利说明】一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置
本专利技术涉及图像显示领域，尤其涉及一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置。
技术介绍
精密测长机TTP 机台是 TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay,薄膜晶体管液晶显示器)制程重要的光学量测机台，主要用于TFT基板/CF基板(彩色滤光片基板)第一层图案制作时曝光机曝光精度参数总间距(Total Pitch)的量测。Total Pitch量测的基本原理是激光的迈本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文德，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：