【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多层金属氧化物多孔薄膜纳米气敏材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:?????步骤1)将微球模板通过LB膜法、溶液蒸发法、旋涂法或浸涂法中的一种自组装在覆盖有绝缘层的基底上,形成致密的单层阵列模板;步骤2)用刻蚀的方法减小微球的间距,间距范围为1nm?1μm;步骤3)物理沉积金属氧化物薄膜;步骤4)去除模板,制备出多孔阵列金属氧化物薄膜,退火处理即得到金属氧化物多孔薄膜气敏材料。
【技术特征摘要】
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