一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法，包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化；本发明专利技术的优势在于：本发明专利技术无需外加电源、无需制备驻极体，解决了传统静电式能量采集器的不足之处；本发明专利技术采用MEMS微加工工艺批量化生产，成本低、产量大、可控性好、适于商业生产与应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型摩擦式能量采集器，其特征在于:包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张海霞，韩梦迪，孙旭明，刘雯，张晓升，孟博，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：