激光光源制造技术

一种具有桥形波导结构的激光光源，该激光光源具有带多个功能层（4）和有源区域（45）的半导体层序列（10），所述有源区域适于在运行时产生激光，其中功能层（4）中的至少一个构造为桥形波导结构的桥（11），并且其中半导体层序列（10）具有模滤波结构（6），所述模滤波结构构造为桥（11）的一部分和/或沿着功能层（4）的主延伸层面构造在桥（11）旁边和/或垂直于功能层（4）的主延伸层面构造在桥（11）下方。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光光源
本专利申请要求德国专利申请10 2011 100 175.5的优先权，其公开内容通过回引结合于此。
技术介绍
对于投影应用来说，需要具有越来越高功率的在基模或单模运行下的激光源，以便在投影面的图像对角线增多的情况下实现足够的亮度以及尽管如此仍然实现非常高的效率。此外常常期望激光射线的小的纵横比，以便能够简化耗费的和有损失的透镜系统。在典型的折射率引导(indexgefiihrt)激光器结构(诸如具有桥形波导结构的激光二极管)中，单模性通过如下方式来实现，即激光器桥具有非常小的宽度。但是在这方面存在技术要求高的明显缺点，因为常规的曝光和蚀刻技术遇到其限制。这样的窄的桥宽度的另一大的缺点在于为运行这样的激光二极管所需的提高的运行电压。用于改善具有桥形波导结构的激光二极管的单模性的另一可能性在于小的桥高度。由此得出的弱的光学引导引起仅仅基模能够起振。但是这同时导致提高的阈电流，因为弱的波导或桥的小的高度一般与电流扩张相关联。此外已知将吸收层施加到激光器桥旁边的薄的钝化层上。但是因为对于该配置来说需要非常薄的钝化层，因此可能出现电学问题，诸如在击穿强度方面或者在漏电流方面。本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有桥形波导结构的激光光源，包括具有多个功能层（4）和有源区域（45）的半导体层序列（10），所述有源区域适于在运行时产生激光，其中功能层（4）中的至少一个构造为桥形波导结构的桥（11），并且其中半导体层序列（10）具有模滤波结构（6），所述模滤波结构构造为桥（11）的一部分和/或沿着功能层（4）的主延伸平面构造在桥（11）旁边和/或垂直于功能层（4）的主延伸平面构造在桥（11）下方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.02 DE 102011100175.51.具有桥形波导结构的激光光源，包括 具有多个功能层(4)和有源区域(45)的半导体层序列(10)，所述有源区域适于在运行时产生激光， 其中功能层(4)中的至少一个构造为桥形波导结构的桥(11)，并且 其中半导体层序列(10)具有模滤波结构(6)，所述模滤波结构构造为桥(11)的一部分和/或沿着功能层(4)的主延伸平面构造在桥(11)旁边和/或垂直于功能层(4)的主延伸平面构造在桥(11)下方。2.根据权利要求1所述的激光光源，其中桥(11)具有垂直于功能层(4)的主延伸平面变化的桥高度(110、110’、110’’)作为模滤波结构(6)。3.根据权利要求2所述的激光光源，其中桥高度(110、110’、110’’)沿着桥延伸方向(AA)变化。4.根据权利要求2或3所述的激光光源，其中桥(11)通过两个沿着桥延伸方向(AA)走向的桥侧面(111、112 )限制，并且这些桥侧面(111、112 )具有至少部分不同的桥高度(110、110，)。5.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中在桥(11)旁边作为模滤波结构(6)布置钝化部(63、64)，所述钝化部沿着桥延伸方向(AA)变化。6.根据权利要求5所述的激光光源，其中桥(11)通过两个沿着桥延伸方向(AA)走向的桥侧面(111、112 )限制，并且在桥(11)旁边作为模滤波结构(6 )在两个桥侧面(111、112 )处布置不同的钝化部(63、64)。`7.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中桥(11)通过两个沿着桥延伸方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：C艾希勒，D迪尼，A莱尔，
申请(专利权)人：奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司，
类型：
国别省市：