检测装置、检测系统和检测装置驱动方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及检测装置、检测系统和检测装置驱动方法。该检测装置包括：基板，该基板包含矩阵状布置并适于产生像素信号的多个像素、在列方向上布置并且分别与行方向的多个像素共同连接的多个驱动线、在行方向上布置并且分别与列方向的多个像素共同连接的多个数据线、数量比数据线少的连接端子以及设置在连接端子与数据线之间的多路复用器单元；具有用于向连接端子供给恒定的电势的复位开关并与连接端子连接的读取电路；适于控制多个像素的驱动的驱动电路；以及适于向基板和读取电路供给控制信号的控制电路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适于医疗诊断成像系统、非破坏性检查装置和使用放射线的分析装置等的。
技术介绍
近年来，薄膜半导体制造技术已被用于包含像素的阵列(像素阵列)的矩阵基板以及使用矩阵基板的检测装置和放射线检测装置，该像素由诸如TFT (薄膜晶体管)的开关器件和诸如光电转换器件的转换器件的组合制成。近年来，主要出于减少连接端子的数量的目的，在这种检测装置中，考虑将多路复用器与像素阵列构建到同一基板中。美国专利N0.5536932公开了用于在如下检测装置中将多个数据线多路复用到单个数据触点的方法，该检测装置包含设置在多个数据线与数据触点(连接端子)之间的多个TFT所制成的多路复用器。但是，在美国专利N0.5536932中，在多路复用器中使用的TFT打开和关闭以便操作时，当该TFT关闭时产生KTC噪声(由电荷的热波动导致的噪声)。另一方面，当作为打开和关闭在多路复用器中使用的TFT的替代只有与一些数据线连接的像素被优先读取时，蓄积于不与数据触点电连接的像素中的信号电荷的一部分丢失。美国专利N0.5536932没有公开任何用于从所有像素获得蓄积的信号电荷的方法。本专利技术的目的是提供可在减少数据触点的数量的同时减少KTC噪声产生的。
技术实现思路
根据本专利技术的检测装置包括基板，所述基板包含矩阵状布置并适于产生像素信号的多个像素、在列方向上布置并且均与行方向上的多个像素共同连接的多个驱动线、在行方向上布置并且均与列方向上的多个像素共同连接的多个数据线、数量比数据线少的连接端子和设置在连接端子与数据线之间的多路复用器单元；具有用于向连接端子供给恒定的电势的复位开关并与连接端子连接的读取电路；适于控制多个像素的驱动的驱动电路；以及适于向基板和读取电路供给控制信号的控制电路，其中，多个像素中的每一个具有用于将放射线或光转换成电荷的转换器件和用于将基于该电荷的电信号传送到数据线的开关器件，并适于基于该电信号产生像素信号，驱动线包含与一行中的像素中的一些像素的开关器件的控制电极连接的第一驱动线和与该一行中的像素中的其它像素的开关器件的控制电极连接的第二驱动线，数据线包含与一列中的像素的开关器件的主电极连接的第一数据线和与另一列中的像素的开关器件的主电极连接的第二数据线，多路复用器单元包含适于将第一数据线与连接端子中的一个连接的第一开关和适于将第二数据线与该一个连接端子连接的第二开关，并且，控制电路实施接通第一开关并且接通并然后关断复位开关的第一步骤，通过驱动电路接通并然后关断与第一驱动线连接的像素的开关器件、并然后关断第一开关的第二步骤，接通第二开关、接通并然后关断复位开关、并且然后通过驱动电路接通并然后关断与第二驱动线连接的像素的开关器件的第三步骤，以及关断第二开关的第四步骤，第一步骤、第二步骤、第三步骤和第四步骤按此顺序被实施。多路复用器单元的安装允许减少连接端子的数量。并且，第一开关或第二开关的接通操作使得能够减少由数据线电容产生的KTC噪声。参照附图阅读示例性实施例的以下描述，本专利技术的其它特征将变得清晰。【附图说明】图1是检测装置的概念图。图2是是用于解释检测装置的等效电路图。图3A和图3B是检测装置的俯视图。图4是像素的截面图。图5是用于解释检测装置的等效电路图。图6是检测装置的定时图。图7是用于解释检测装置的等效电路图。图8是检测装置的定时图。图9是检测装置的概念图。图10是用于解释检测装置的等效电路图。图11是检测装置的俯视图。图12是检测装置的定时图。图13是检测装置的定时图。图14A和图14B是示出检测装置的虚拟输出的示图。图15是用于解释检测装置的等效电路图。图16是检测装置的定时图。图17是用于解释检测系统的概念图。【具体实施方式】现在将根据附图详细描述本专利技术的优选实施例。(第一实施例)将参照图1描述检测装置191的配置例。检测单元193包含支撑基板100、驱动电路192和读取电路190。支撑基板100至少包含像素区域137和多路复用器单元131。驱动电路192与像素区域137电连接，并适于通过输出导通状态电压Vcom和关断状态电压VofT控制像素区域137中的多个像素的驱动。即，驱动电路192被设计为控制像素101的选择状态和非选择状态。读取电路190与像素区域137电连接并适于输出来自像素区域137的电信号作为图像数据。检测装置191还包含适于处理并输出从检测单元193接收的图像数据的信号处理单元194、适于向各种部件供给各自的控制信号并控制检测单元193的操作的控制电路195、以及适于向各种部件供给各自的偏压的电源电路196。控制电路195从控制计算机(未示出)接收控制信号，并向支撑基板100、驱动电路192、读取电路190和信号处理单元194提供各自的控制信号，这里，支撑基板100包含像素区域137。并且，信号处理单元194在照射时段期间从读取电路190接收关于数据线105的电势信息，并将电势信息传送给控制计算机(未示出)。电源电路196包含适于从外部电源或内置的电池(未示出)接收电压并向支撑基板100、驱动电路192和读取电路190供给必要的电压的调节器等。电源电路196与连接端子109电连接。顺便说一句，虽然驱动电路192、读取电路190、信号处理单元194、控制电路195和电源电路196分别由单个块表示，但是，这不意味着它们中的每一个由一个集成电路制成。它们中的每一个可由多个集成电路制成，或者，可在单个集成电路中提供它们全部。此外，在适当的情况下，以上的描述也可适于本专利技术的其它实施例。图2是示出根据本专利技术的第一实施例的检测装置的配置例的示图。检测装置包括包含矩阵状布置于支撑基板100上的多个像素101的像素区域137。像素101要产生根据放射线或光的像素信号(电信号)。多个像素101中的每一个包含适于将放射线或光转换成电荷的转换器件102和适于基于源自转换器件102的转换的电荷向数据线105传送电信号的第一开关器件103。作为转换器件102，本实施例包含适于将放射线转换成光的闪烁体和适于将光转换成电荷的光电转换器件，但本实施例不限于此。作为转换器件102，可以使用适于将放射线直接转换成电荷的直接转换器件。并且，作为开关器件103，可以使用非晶硅或多晶硅薄膜晶体管(TFT)。虽然这里使用硅作为半导体材料，但本实施例不限于此，并且，可以使用诸如锗的另一半导体材料。更希望使用多晶硅TFT作为开关器件103。转换器件102的第一电极与开关器件103的第一主电极电连接，并且，转换器件102的第二电极与偏压线106电连接。偏压线106与多个转换器件102的第二电极共同连接，并且通过连接端子109与图1所示的外部电源电路196电连接。开关器件103的第二主电极与数据线105电连接。数据线105与在列方向上布置的多个开关器件103的第二主电极以及与多路复用器单元131中的开关132a和132b的第一主电极共同连接。开关132a和132b的第二主电极与相邻的开关132a和132b中的一个的第二主电极以及与连接端子119连接。连接端子119与图1所示的外部读取电路190电连接。开关132a和132b的控制电极与驱动线133或驱动线134电连接。与同一连接端子119连接的两个开关132a和132b的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测装置，包括：基板，所述基板包含矩阵状布置的并适于产生像素信号的多个像素、在列方向上布置的并且均与行方向上的多个像素共同连接的多个驱动线、在行方向上布置的并且均与列方向上的多个像素共同连接的多个数据线、数量比数据线少的连接端子、以及设置在连接端子与数据线之间的多路复用器单元；读取电路，所述读取电路具有用于向连接端子供给恒定的电势的复位开关并且与连接端子连接；驱动电路，所述驱动电路适于控制多个像素的驱动；和控制电路，所述控制电路适于向基板和读取电路供给控制信号，其中，多个像素中的每一个具有用于将放射线或光转换成电荷的转换器件和用于将基于所述电荷的电信号传送到数据线的开关器件，并适于产生基于所述电信号的像素信号，驱动线包含与一行中的像素中的一些像素的开关器件的控制电极连接的第一驱动线和与该一行中的像素中的其它像素的开关器件的控制电极连接的第二驱动线，数据线包含与一列中的像素的开关器件的主电极连接的第一数据线和与另一列中的像素的开关器件的主电极连接的第二数据线，多路复用器单元包含适于将第一数据线与连接端子中的一个连接端子相连接的第一开关和适于将第二数据线与该一个连接端子相连接的第二开关，并且，控制电路实施接通第一开关并且接通并然后关断复位开关的第一步骤，通过驱动电路接通并然后关断与第一驱动线连接的像素的开关器件并且然后关断第一开关的第二步骤，接通第二开关、接通并然后关断复位开关并且然后通过驱动电路接通并然后关断与第二驱动线连接的像素的开关器件的第三步骤，和关断第二开关的第四步骤，第一步骤、第二步骤、第三步骤和第四步骤被依次实施。...

【技术特征摘要】
2012.06.20 JP 2012-1389291.一种检测装置，包括: 基板，所述基板包含矩阵状布置的并适于产生像素信号的多个像素、在列方向上布置的并且均与行方向上的多个像素共同连接的多个驱动线、在行方向上布置的并且均与列方向上的多个像素共同连接的多个数据线、数量比数据线少的连接端子、以及设置在连接端子与数据线之间的多路复用器单元； 读取电路，所述读取电路具有用于向连接端子供给恒定的电势的复位开关并且与连接端子连接； 驱动电路，所述驱动电路适于控制多个像素的驱动；和 控制电路，所述控制电路适于向基板和读取电路供给控制信号， 其中，多个像素中的每一个具有用于将放射线或光转换成电荷的转换器件和用于将基于所述电荷的电信号传送到数据线的开关器件，并适于产生基于所述电信号的像素信号，驱动线包含与一行中的像素中的一些像素的开关器件的控制电极连接的第一驱动线和与该一行中的像素中的其它像素的开关器件的控制电极连接的第二驱动线， 数据线包含与一列中的像素的开关器件的主电极连接的第一数据线和与另一列中的像素的开关器件的主电极连接的第二数据线， 多路复用器单元包含适于将第一数据线与连接端子中的一个连接端子相连接的第一开关和适于将第二数据线与该一个连接端子相连接的第二开关，并且， 控制电路实施接通第一开关并且接通并然后关断复位开关的第一步骤，通过驱动电路接通并然后关断与第一驱动线连接的像素的开关器件并且然后关断第一开关的第二步骤，接通第二开关、接通并然后关断复位开关并且然后通过驱动电路接通并然后关断与第二驱动线连接的像素的开关器件的第三步骤，和关断第二开关的第四步骤，第一步骤、第二步骤、第三步骤和第四步骤被依次实施。2.根据权利要求1的检测装置，其中， 读取电路还包含适于蓄积电荷的第一米样电容器、适于蓄积电荷的第二米样电容器、适于在第一采样电容器中采样和保持从连接端子读出的电荷的第一采样和保持开关、以及适于在第二采样电容器中采样和保持从连接端子读出的电荷的第二采样和保持开关，并且， 控制电路实施接通第一开关、接通并然后关断复位开关并且接通并然后关断第二采样和保持开关的第一步骤，通过驱动电路接通并然后关断与第一驱动线连接的像素的开关器件、接通并然后关断第一采样和保持开关并且然后关断第一开关的第二步骤，接通第二开关、接通并然后关断复位开关、接通并然后关断第二采样和保持开关、通过驱动电路接通并然后关断与第二驱动线连接的像素的开关器件、并且接通并然后关断第一采样和保持开关的第三步骤，和关断第二开关的第四步骤，第一步骤、第二步骤、第三步骤和第四步骤被依次实施。3.根据权利要求1的检测装置，其中， 读取电...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山启吾，望月千织，渡边实，大藤将人，川锅润，藤吉健太郎，和山弘，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：