有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种有机层沉积设备、一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，本发明专利技术提供了一种适用于在大基底的批量生产中使用的以及能够高分辨率地图案化的有机层沉积设备、利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及利用所述方法制造的有机发光显示装置。有机层沉积设备包括输送单元、加载单元、沉积单元和卸载单元。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2012年6月22日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0067303号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用被完全包含于此。
本专利技术的方面涉及一种有机层沉积设备、一种通过利用所述有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用所述方法制造的有机发光显示装置。
技术介绍
与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。有机发光显示装置包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层(包括发射层)。可以利用各种方法来形成所述电极和中间层，这些方法之一是独立沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同图案的精细金属掩模(FMM)设置为与其上将形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于自身重力而弯曲，从而使图案扭曲。这种缺点不利于朝着高分辨率图案发展的近期趋势。另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触的工艺、在基底上执行沉积的工艺以及将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。在本
技术介绍
部分公开的信息对于本专利技术的专利技术人来说在实现本专利技术之前是已知的，或者所述信息是在实现本专利技术的过程中获取的技术信息。因此，它可能包含对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术的信息。
技术实现思路
为了解决利用精细金属掩模(FMM)的沉积方法的缺点和/或其它问题，本专利技术的方面在于适用于在大基底的批量生产中使用的以及能够高分辨率地图案化的有机层沉积设备、利用所述有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及利用所述方法制造的有机发光显示装置。根据本专利技术的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括:输送单元，包括固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的至少一个有机层沉积组件；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被形成为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被形成为在被第一输送单元传送的同时与至少一个有机层沉积组件分隔开设定距离。当第一输送单元和第二输送单元穿过沉积单元时，第一输送单元和第二输送单元可以彼此平行地分别布置在上方和下方。多个沉积单元可以彼此平行地布置，一个图案化缝隙片更换单元可以设置在多个沉积单元中的两个相邻的沉积单元之间，两个相邻的沉积单元的图案化缝隙片可以进入所述一个图案化缝隙片更换单元以及可以从所述一个图案化缝隙片更换单元拉出。第一输送单元可以将传送单元顺序输送到加载单元、沉积单元和卸载单元中。第二输送单元可以将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和加载单元中。至少一个有机层沉积组件可以包括:沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并且包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，从沉积源排放的沉积材料可以穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，至少一个有机层沉积组件的图案化缝隙片可以形成为比基底小。有机层沉积设备可以包括多个有机层沉积组件，多个有机层沉积组件中的各沉积源可以包括不同的沉积材料。在基底相对于有机层沉积设备移动的同时，至少一个有机层沉积组件的各沉积材料可以顺序沉积在基底上。有机层沉积设备和基底可以沿着与基底的在其上沉积沉积材料的表面平行的表面相对于彼此移动。传送单元可以包括通过第一输送单元和第二输送单元移动的运送器和固定地结合到运送器以固定基底的静电卡盘。磁轨可以形成在运送器的表面上，第一输送单元和第二输送单元中的每个可以包括多个线圈，其中，磁轨和多个线圈结合在一起来构成用于产生使传送单元移动的驱动力的操作单元。第一输送单元可以包括:引导构件，每个引导构件包括容纳槽，其中，各容纳槽被构造为容纳传送单元的两侧，以引导传送单元沿着第一方向移动；磁悬浮轴承，使传送单元从容纳槽悬浮，从而使传送单元以不与容纳槽接触的方式移动。磁悬浮轴承可以包括布置在运送器的两个侧表面上的侧面磁悬浮轴承和布置在运送器上方的上磁悬浮轴承。第一输送单元还可以包括用于测量引导构件和运送器之间的距离的间隙传感器。多个线圈可以形成在大气(ATM)箱中。ATM箱可以通过波纹管连接到所述室。至少一个凸轮从动件可以设置在运送器的两个侧表面上，第二输送单元可以包括辊式引导件来支撑至少一个凸轮从动件，其中，运送器的至少一个凸轮从动件沿着辊式引导件移动。非接触电源(CPS)模块设置在运送器中，充电轨道形成在第二输送单元的对应于CPS模块的部分中，其中，当在第二输送单元中传送运送器时，在充电轨道和CPS模块之间形成磁场，从而以非接触方式向CPS模块供电。所述室还可以包括用于容纳第一输送单元和至少一个有机层沉积组件的上壳体以及用于容纳第二输送单元的下壳体。沉积源和沉积源喷嘴可以形成在上壳体中，其中，在沉积源和沉积源喷嘴上顺序堆叠用于沿第一方向和与第一方向垂直的第二方向传送图案化缝隙片的第一台阶、用于沿着垂直于第一方向和第二方向中的每个方向的第三方向传送图案化缝隙片的第二台阶以及图案化缝隙片。图案化缝隙片和基底可以通过第一台阶和第二台阶的移动彼此对准。所述有机层沉积设备还可以包括设置在沉积源和图案化缝隙片之间的屏蔽构件，其中，屏蔽构件与基底一起移动，从而遮蔽基底的至少一部分。屏蔽构件可以形成为遮蔽基底的非膜形成区域。图案化缝隙片可以包括第一对准标记，基底可以包括第二对准标记，沉积单元还可以包括对第一对准标记和第二对准标记拍照以检测基底与图案化缝隙片的相对位置的照相机。沉积单元还可以包括用于测量基底和图案化缝隙片之间的距离的传感器，传感器可以设置在基底上并可以感测基底的表面和图案化缝隙片的表面，以测量基底和图案化缝隙片之间的距离。传感器可以是共焦传感器。根据本专利技术的另一实施例，提供了一种通过利用有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法，所述有机层沉积设备用于在基底上形成有机层，所述方法包括:将位于传送单元上的基底固定在加载单元中；通过利用安装为穿过室的第一输送单元将其上固定有基底的传送单元输送到所述室中；在所述室中的有机层沉积组件与基底分隔开预定距离的情况下，在基底相对于有机层沉积组件移动的同时，通过在基底上沉积从有机层沉积组件排放的沉积材料形成有机层；在卸载单元中将其上已经完成沉积的基底与传送单元分开；通过使用被安装为穿过所述室的第二输送单元将基底从其分开的传送单元输送到加载单元。所述室可以包括多个有机层沉积组件，可以通过利用多个有机层沉积组件中的每个对基底顺序执行沉积。传送单元可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。

【技术特征摘要】
2012.06.22 KR 10-2012-00673031.一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括: 输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元； 加载单元，将基底固定在传送单元上； 沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及 卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开， 其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动， 其中，固定在传送单兀上的基底被构造为在被第一输送单兀传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。2.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元和第二输送单元被构造为穿过沉积单元。3.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元和第二输送单元彼此平行地分别布置在上方和下方。4.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，多个沉积单元彼此平行地布置，其中，一个图案化缝隙片更换单元设置在所述多个沉积单元`中的两个相邻的沉积单元之间，其中，所述两个相邻的沉积单元的图案化缝隙片被构造为进入所述一个图案化缝隙片更换单元以及从所述一个图案化缝隙片更换单元拉出。5.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元被构造为将传送单元顺序输送到加载单元、沉积单元和卸载单元中。6.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第二输送单元被构造为将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和加载单元中。7.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积组件包括:沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并且包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，其中，沉积源被构造为排放沉积材料穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。8.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，有机层沉积组件的图案化缝隙片形成为比基底小。9.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积设备包括多个有机层沉积组件，其中，所述多个有机层沉积组件中的各沉积源包括不同的沉积材料。10.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，在基底相对于有机层沉积设备移动的同时，有机层沉积组件的各沉积材料顺序沉积在基底上。11.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积设备和基底沿着与基底的在其上沉积沉积材料的表面平行的表面相对于彼此移动。12.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，传送单元包括被构造为通过第一输送单元和第二输送单元移动的运送器和固定地结合到运送器以固定基底的静电卡盘。13.根据权利要求12所述的有机层沉积设备，其中，磁轨位于运送器的表面上，第一输送单元和第二输送单元中的每个包括多个线圈，其中，磁轨和多个线圈结合在一起来构成用于产生使传送单元移动的驱动力的操作单元。14.根据权利要求13所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元包括:引导构件，每个引导构件包括容纳槽，其中，各容纳槽被构造为容纳传送单元的两侧，以引导传送单元沿着第一方向移动；磁悬浮轴承，被构造为使传送单元从容纳槽悬浮，从而使传送单元以不与容纳槽接触的方式移动。15.根据权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，磁悬浮轴承包括布置在运送器的两个侧表面上的侧面磁悬浮轴承和布置在运送器上方的上磁悬浮轴承。16.根据权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元还包括用于测量引导构件和运送器之间的距离的间隙传感器。17.根据权利要求13所述的有机层沉积设备，其中，所述多个线圈形成在大气箱中。18.根据权利要求17所述的有机层沉积设备，其中，大气箱通过波纹管连接到所述室。19.根据权利要求13所述的有机层沉积设备，其中，凸轮从动件设置在运送器的两个侧表面上，第二输送单元包括辊式引导件来支撑凸轮从动件，其中，运送器的凸轮从动件被构造为沿着辊式引导件移动。20.根据权利要求12所述的有机层沉积设备，其中，非接触电源模块位于运送器中，充电轨道位于第二输送单元的对应于非接触电源模块的部分中，其中，当在第二输送单元中传送运送器时，在充电轨道和非接触电源模块之间形成磁场，从而以非接触方式向非接触电源模块供电。21.根据权利要求7所述的有机层沉积设备，其中，所述室还包括用于容纳第一输送单元和有机层沉积组件的上壳体以及用于容纳第二输送单元的下壳体。`22.根据权利要求21所述的有机层沉积设备，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋允豪，金兑龙，尹美珠，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：