本实用新型专利技术涉及一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接一输送管，该输送管通过一进液阀连接一竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进口，该过滤器的出口连接所述进液阀的进口。本实用新型专利技术中，在现有的每个蚀刻仓出口安装三通，然后将所有的三通连接到竖直位置较低的储液罐，通过不同阀门开合状态的组合，实现了药液自动进入储液罐，然后冲洗蚀刻仓，废液仍然排入酸性非也排放管中，清理完毕后，利用泵使药液通过过滤器后再回到蚀刻仓内，整个过程效率高，节省了人工，而且在应急停机修理时能快速的将药液排空。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接一输送管，该输送管通过一进液阀连接一竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进口，该过滤器的出口连接所述进液阀的进口。本技术中，在现有的每个蚀刻仓出口安装三通，然后将所有的三通连接到竖直位置较低的储液罐，通过不同阀门开合状态的组合，实现了药液自动进入储液罐，然后冲洗蚀刻仓，废液仍然排入酸性非也排放管中，清理完毕后，利用泵使药液通过过滤器后再回到蚀刻仓内，整个过程效率高，节省了人工，而且在应急停机修理时能快速的将药液排空。【专利说明】高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置
本技术属于蚀刻线体保养
，尤其是一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置。
技术介绍
高密度互联电路板生产的外层图转工序中设置有DES线体，该线体包括显影、蚀刻和剥膜，显影是将必须保留的线路位置干膜保留下来，蚀刻形成线路，剥膜将干膜剥除，可见DES线体决定着产品的最终质量。一般在生产时设置多条DES线体，比如常见的两线体设置的情况，两个线体中的蚀刻仓的容积分别为1.6立方米和2.3立方米，按工艺要求，该两个蚀刻仓应在每个季度均进行清洗，药液经过过滤，清理槽体药液需要使用20个200升的桶收集，工作量非常大，极大地浪费了人工。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供结构合理、快速保养、节省人工的一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置。本技术采取的技术方案是:一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，包括至少一个蚀刻仓，该蚀刻仓均通过阀门连接一酸性废液排放管，其特征在于:每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接一输送管，该输送管通过一进液阀连接一竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进口，该过滤器的出口连接所述进液阀的进口。而且，所述过滤器的出口串联一控制阀。本技术的优点和积极效果是:本技术中，在现有的每个蚀刻仓出口安装三通，然后将所有的三通连接到竖直位置较低的储液罐，通过不同阀门开合状态的组合，实现了药液自动进入储液罐，然后冲洗蚀刻仓，废液仍然排入酸性非也排放管中，清理完毕后，利用泵使药液通过过滤器后再回到蚀刻仓内，整个过程效率高，节省了人工，而且在应急停机修理时能快速的将药液排空。【专利附图】【附图说明】图1是本技术的结构示意图。【具体实施方式】下面结合实施例，对本技术进一步说明，下述实施例是说明性的，不是限定性的，不能以下述实施例来限定本技术的保护范围。一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，如图1?3所示，包括至少一个蚀刻仓1，该蚀刻仓均通过阀门6连接一酸性废液排放管13，本技术的创新在于:每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管3的两端，该三通管的第三端均通过一分阀2、4连接ー输送管5，该输送管通过ー进液阀8连接ー竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐9，该储液罐的出口通过排液阀10、泵11连接ー过滤器12的进ロ，该过滤器的出口连接所述进液阀的进ロ。本实施例中，蚀刻仓为两个，该两个蚀刻仓位于ー楼的生产场地中，而储液罐位于地下室，使药液可以自由流动到储液罐内。过滤器的出ロ串联ー控制阀7。本技术使用时:1.将两个阀门6关闭，打开分阀2、4以及进液阀8，关闭排液阀，此时蚀刻仓内的药液经过输送管流入储液罐内；2.药液流光后，关闭分阀2、4，打开阀门6，使清理蚀刻仓的废液进入酸性废液排放管；3.清理完成后，关闭阀门6、打开分阀2、4，打开排液阀10和控制阀7，关闭进液阀8，启动泵，使药液经过滤器处理后流回到两个蚀刻仓内。本技术中，在现有的每个蚀刻仓出口安装三通，然后将所有的三通连接到竖直位置较低的储液罐，通过不同阀门开合状态的组合，实现了药液自动进入储液罐，然后冲洗蚀刻仓，废液仍然排入酸性非也排放管中，清理完毕后，利用泵使药液通过过滤器后再回到蚀刻仓内，整个过程效率高，节省了人工，而且在应急停机修理时能快速的将药液排空。【权利要求】1.ー种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，包括至少ー个蚀刻仓，该蚀刻仓均通过阀门连接ー酸性废液排放管，其特征在于:每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接ー输送管，该输送管通过ー进液阀连接ー竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进ロ，该过滤器的出口连接所述进液阀的进ロ。2.根据权利要求1所述的高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，其特征在于:所述过滤器的出口串联ー控制阀。【文档编号】C23F1/00GK203382821SQ201320313488【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年5月31日 优先权日:2013年5月31日 【专利技术者】高月起 申请人:天津普林电路股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，包括至少一个蚀刻仓，该蚀刻仓均通过阀门连接一酸性废液排放管，其特征在于：每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接一输送管，该输送管通过一进液阀连接一竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进口，该过滤器的出口连接所述进液阀的进口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高月起，
申请(专利权)人：天津普林电路股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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