【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种约束磨粒流的超精密加工装置，包括抛光工具头、供料装置、回收底座和运动执行机构，抛光工具头中，护套套装在喷嘴的安装台阶上，喷嘴与抛光头管座固定连接，弹簧套装在喷嘴上并压紧护套，护套和喷嘴配合面上开有密封槽，护套为由对磨粒磨损不敏感的弹性材料制成的护套，喷嘴中心打通孔，抛光头管座内设有供磨粒流流入的通道，抛光头管座固定在安装板上，激光位移传感器固定在抛光头管座的一侧，安装板与运动执行机构连接；回收底座中心为安装工件的凸台，凸台四周有磨粒流回收槽，回收槽外围有一圈磨粒流挡板，磨粒流挡板高于工件上表面，回收槽内有磨粒流回收出口。本技术精度高、加工效率高、损伤小、成本低。【专利说明】一种约束磨粒流的超精密加工装置
本技术涉及一种超精密加工装置。
技术介绍
光学玻璃、工程陶瓷等硬脆材料具有硬度高、耐磨性和抗蚀性好等优异机械性能以及独特的光学性能，其加工精度和表面质量要求也越来越严格，硬脆材料零件的超精密加工技术成为迫切需求和最具挑战性的加工
之一。传统的机械抛光方法在材料可控去除、表面损伤和加工效率等方面存在明显缺陷，难以满足高精度超光滑低损...
【技术保护点】
一种约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：包括抛光工具头、供料装置、回收底座和运动执行机构，所述抛光工具头包括喷嘴、护套、安装板、抛光头管座、弹簧和激光位移传感器，所述护套套装在喷嘴的安装台阶上，所述喷嘴与抛光头管座固定连接，所述弹簧套装在喷嘴上并压紧护套，所述护套和喷嘴配合面上开有密封槽，所述护套为由对磨粒磨损不敏感的弹性材料制成的护套，所述喷嘴中心打通孔，所述抛光头管座内设有供磨粒流流入的通道，所述抛光头管座固定在安装板上，所述激光位移传感器固定在抛光头管座的一侧，所述安装板与运动执行机构连接；所述回收底座中心为安装工件的凸台，所述凸台四周有磨粒流回收槽，所述回收槽外...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：叶必卿，袁巧玲，孙建辉，周海清，单晓杭，周丹峰，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
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