用于在涂覆工艺中钝化柔性基板的装置和方法制造方法及图纸

一种用于钝化柔性基板的涂层的装置包括涂敷腔室、腔室分隔元件、涂敷滚筒和进气口，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气进入所述缝隙内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例通常涉及涂覆工艺装置和钝化柔性基板涂层的方法。具体地说，各实施例涉及用于钝化幅片(web)的铝涂层的装置和方法。一些实施例涉及用于在薄膜式太阳能电池制造中钝化幅片的铝涂层的装置和方法，其他一些实施例涉及在柔性显示器制造中纯化幅片的招涂层。
技术介绍
在用于涂敷柔性基板(诸如，在薄膜式太阳能电池制造中的幅片)的装置和方法中，对所述柔性基板进行钝化是必需的。这可能是因为事实上经涂敷幅片在所述幅片的已被涂敷的一侧与辊的直接接触可能会损坏所述涂层。所述钝化保护柔性基板，以使得所述柔性基板可以在柔性基板的被涂敷侧上由辊引导。因此，使用钝化等离子体反应器的装置可用于钝化刚涂敷在柔性基板上的铝层，以保护所述涂层。所述钝化是在将柔性基板重绕到卷取辊上之前进行的。所述钝化等离子体反应器包含等离子体处理器和气源。然而，等离子体处理器可能是复杂的装置。为了操作这样的装置，可能需要消耗大里目匕里。
技术实现思路
鉴于上述情形，提供了如本文所述的用于钝化柔性基板的涂层的一种装置和方法。根据本文描述的实施例，提供了一种用于钝化柔性基板的涂层的装置。所述装置包含涂敷腔室和腔室分隔元件，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室。此外，所述装置包含涂敷滚筒，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，其中在所述腔室分隔元件内设置进气口用于供应氧气进入所述缝隙内。根据本文描述的其他实施例，提供了一种使用装置钝化柔性基板的涂层的方法。所述装置包含涂敷腔室，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板；腔室分隔元件，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室；涂敷滚筒，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙；以及进气口，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内。经由所述进气口将氧气供应到所述缝隙内。从附属权利要求、描述和图式，本专利技术可以与上述实施例结合的进一步优点、特征结构、方面，以及细节将变得显而易见。实施例还关于用以实施所公开的方法中的每一方法且包括用于执行所描述的每一方法步骤的装置部件的装置。这些方法步骤可经由硬件元件、由适当软件程序控制的计算机、所述两者的任意组合或以任何其他方式来执行。此外，实施例还关于操作所描述的装置或制造所描述的装置的方法。所述方法可包括用以实施所述装置的功能或制造所述装置的部件的方法步骤。【附图说明】因此，为了可详细了解本专利技术的以上详述特征结构，以上简略概述的本专利技术的更特定描述可参照实施例。以下描述与本专利技术的实施例相关的附图:图1是进气口设置在腔室分隔元件内的典型实施例的示意性剖面图；图2是另一进气口设置在另一腔室分隔元件内的另一典型实施例的示意性剖面图；图3是根据一实施例的涂层的层堆叠结构的示意性剖面图；以及图4是根据一实施例的一种方法的流程图的示意图。【具体实施方式】现将详细提及本专利技术的各种实施例，其中所述实施例的一或多个实例示出于诸图中。以下附图的描述中，相同附图标记代表相同组件。一般而言，仅描述了各实施例的差异。各实例以解释说明本专利技术的方式提供，而并非意欲限制本专利技术。此外，示出或者描述为一个实施例的部分的特征结构可用于更进一步的实施例，或者与其他实施例结合以用于产生更进一步的实施例。所述描述意欲包括此类修改和变更。根据一些实施例，提供了用于钝化基板(例如，柔性基板)上涂层的工艺和装置。因此，柔性基板可被认为尤其包括塑料、金属或其他材料的薄膜、箔、幅片(web)。通常，术语“幅片”、“箔”、“条”、“基板”、“柔性基板”等被同义地使用。根据一些实施例，可以为上述柔性基板提供根据本文描述的实施例的钝化工艺和装置的组成部分。然而，所述钝化工艺和装置的组成部分还可以用于非柔性基板(诸如，玻璃基板等等)，所述非柔性基板经受来自蒸发源的反应性沉积工艺。在典型性实施例中，在将金属膜制备到柔性基板上的过程中进行钝化。典型的柔性基板可以是幅片，例如聚合物幅片。所述聚合物幅片通常包含聚丙烯、聚乙烯或者聚酯。典型的第一材料是金属或者包含金属的合金。在典型性实施例中，铝或铝合金用作所述第一材料。所述实施例是参考传统的线内真空沉积工艺描述的，在传统的线内真空沉积工艺中将第一材料涂层沉积到柔性基板上。根据本文描述的实施例，可以钝化铝层，以使得当以重绕机缠绕铝层时，所述铝层不会粘在所述薄膜后侧上。所述第一材料的层堆叠，例如铝和所述钝化表层提供了更好的阻挡层。所述钝化表层非常抗划。术语“钝化”指代处理金属材料以钝化表层的工艺。所述钝化改变了金属的腐蚀敏感性或者由于暴露于环境因素(尤其是湿气)而导致的劣化。例如，当使用铝作为用于涂敷的材料时，所述金属表面上的保护层可以包括A1203。所述保护层在钝化工艺中产生。图1示出用于钝化柔性基板I的装置100。所述装置包含涂敷腔室102和另一腔室104。所述另一腔室104通常是绕线腔室，在所述绕线腔室中可以缠绕所述柔性材料。借助于涂敷滚筒108上的多个导辊106引导所述基板I。根据典型性实施例，在所述基板I在所述涂敷滚筒108上通过所述涂敷腔室102期间，处理(例如，涂敷)所述基板I。根据本文描述的一些实施例，所述另一腔室充当供应腔室，将所述柔性材料供应到所述涂敷滚筒，从而将所述柔性材料输送到进一步的处理装置。导辊，也被称为进料辊，设置在所述另一腔室中，用于指引所述柔性材料到所述涂敷滚筒。腔室分隔元件110 (诸如腔室分隔支架或者弯折片材)设置在所述涂敷腔室102和所述另一腔室104之间，用于分隔所述涂敷腔室102和所述另一腔室104。所述腔室分隔元件110包含隔离罩112，隔离罩112设置平行于所述涂敷滚筒108的表面并且在所述涂敷滚筒108的表面与所述腔室分隔元件110之间形成缝隙。在所述隔离罩112中，存在开口以形成进气口 114。所述进气口 114设置用于指引氧气进入所述缝隙内。可以添加其他气体，例如惰性气体(诸如，氩气)到氧气中以形成气体混合物。因此，可以更容易地控制氧气量。本文描述的典型实施例包括至少一个腔室分隔元件。腔室分隔元件的典型实例包括隔离罩，所述隔离罩至少部分地设置平行于所述涂敷滚筒的表面，所述隔离罩形成所述缝隙。在所述隔离罩中，通常存在至少一个开口以形成所述进气口。一些实施例包括另一隔离罩，所述另一隔离罩与形成缝隙的所述隔离罩相连接。所述另一隔离罩可以形成对所述进气口的保护。所述隔离罩阻止蒸发的高反应性第一材料到达进气口部分。在典型性实施例中，所述腔室分隔元件形成为支架，一部分所述支架形成朝向所述涂敷腔室的阻挡层，另一部分所述支架形成朝向所述另一腔室的阻挡层。效果是，所述进气口可以至少部分地封闭在遮罩所述进气口的所述腔室分隔支架中，以避免接触蒸发的高反应性的铝。根据本文描述的一些典型实施例的腔室分隔元件包含片材或者弯折片材，或者是由片材或者弯折片材制成的。所使用的材料通常为金属合金或者不锈钢。因此，可以实现对所述进气口相当大的保护。第一材料(例如，金属层)的钝化是非真空工艺中制造涂敷在柔性基板上的金属薄膜的典型步骤，以避免损坏包含所述金属薄膜的涂层。可能损坏可包括涂层的腐蚀或剥落。当所述柔性基板从卷取辊退绕时，可能会发生剥落。因此通常在用所述卷取辊卷取柔性幅片以前，在真空环境中进行钝化。典型的实施例具有在涂敷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于钝化柔性基板涂层的装置，包含: 涂敷腔室，所述涂敷腔室用于涂敷所述柔性基板； 腔室分隔元件，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室；和 涂敷滚筒，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙； 进气口，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气到所述缝隙内。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进气口设置在腔室分隔元件内，更靠近所述涂敷腔室而非另一腔室。3.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述进气口设置为使得在操作期间，在所述柔性基板上形成包含一第一材料层和一经反应性氧化的第一材料氧化层的堆置层。4.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述涂敷腔室包含用于一蒸发源的一支座，所述蒸发源提供用于在所述涂敷滚筒的沉积区域中涂敷所述柔性基板的第一材料蒸气，所述沉积区域设置邻近于所述腔室分隔元件。5.如上述权利要求中任一项所述的装置，包含另一腔室分隔元件，所述另一腔室分隔元件设置在所述涂敷腔室和所述另一腔室之间，其中另一进气口设置在所述另一腔室分隔元件内。6.如权利要求5所述的装置，其中所述涂敷滚筒设置在所述腔室分隔元件和所述另一腔室分隔元件之间，所述涂敷滚筒和所述另一分隔元件形成另一缝隙。7.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述缝隙长度至少比所述缝隙宽度大十倍。8.如上...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·霍夫曼，A·沃尔夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：