【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,包括:基板;多晶硅层,形成于所述基板上,所述多晶硅层包括:第一结晶区;第二结晶区;所述第一结晶区和所述第二结晶区中的晶粒界面均与所述第一结晶区和第二结晶区之间的界面垂直。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:许宗义,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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