【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板减薄固定工具，用于将基板设置于蚀刻槽内，其特征在于，所述基板减薄固定工具包括：能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谷丰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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