【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了，该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，将清洗烘干后的基体放入腔体中，抽真空后向腔体内通入惰性气体与氮气，开启高功率脉冲磁控溅射源，在基体表面沉积TiN薄膜；通过调节基底脉冲负偏压，改变TiN薄膜的表面微结构，从而制备出润湿性可控的TiN薄膜。实验证实，该方法简单易行，不仅能够得到高光滑度、高硬度的TiN薄膜，而且通过对基体脉冲负偏压的简单调控就能实现对TiN薄膜润湿性的调控，因此是一种制备高性能TiN薄膜的理想方法，具有良好的应用前景。【专利说明】
本专利技术属于薄膜材料
，尤其涉及。
技术介绍
氮化钛(TiN)薄膜因具有热硬性高、化学稳定性好、抗腐蚀和抗氧化性能优良、韧性好、能承受一定的弹性形变压力等一系列特点，被广泛应用于机械领域，以增强工件表面硬度和耐磨性，从而提高其使用寿命。同时，TiN薄膜的光学性能奇特，在可见光范围内红色波段结束区具有高反射比，在紫外区附近具有低反射比，因而呈现出与黄金媲美的金黄色，而且当薄膜中氮含量发生改变时，薄膜的颜色随之发生改变，可呈现银白、淡黄、金黄以及玫瑰金等颜色，因而TiN薄膜也被...
【技术保护点】
一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法，其特征是：采用HIPIMS技术，将清洗烘干后的基体放入腔体中，抽真空后向腔体内通入惰性气体与氮气，开启高功率脉冲磁控溅射源，在基体表面沉积TiN薄膜；通过调节基底脉冲负偏压，改变TiN薄膜的表面微结构，从而制备出润湿性可控的TiN薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：柯培玲，王振玉，张栋，汪爱英，谢仕芳，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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