线状锯制造技术

本发明专利技术提供一种可使固着在线状锯上的磨粒的磨粒数、磨粒间距、偏芯量最佳化，从而有效地防止磨粒脱落的线状锯。该线状锯是以如下方式形成的，即，利用透过了在芯线周围经由粘接剂材料固着有磨粒的线状锯的光，拍摄前述线状锯的图像，根据所拍摄的线状锯的图像的亮度检测掌握磨粒的轮廓并检测从而掌握磨粒的位置，至少检测磨粒的个数、磨粒间距、磨粒投影面积，从而检测磨粒的分别状态，由此使得前述磨粒的投影面积相对于磨粒层的投影面积在２０％或其以上在８０％或其以下，使得磨粒间距的标准偏差在２００μｍ或其以下，使得对于夹着芯线而形成在其两侧的磨粒层而言，薄磨粒层的厚度相对于厚磨粒层的厚度的比在０．６或其以上。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使线状锯表面上的磨粒的附着状态最佳化的线状锯。
技术介绍
以从大直径的硅锭切割出硅片等为用途，近年来线状锯被广泛使用。作为该线状锯的一种有树脂结合剂线状锯，其是将高抗拉金属用作芯线、以如下的材料被覆芯线而构成的，所述材料是将聚酰胺、聚酰亚胺树脂等有机材料或玻璃等无机材料作为粘合剂、使磨粒分散含有于其中而成的。最为理想的情况是在线状锯表面以几乎相等的间隔规则地附着着一定量的磨粒，但因为制造上的误差有时会使磨粒的附着状态混乱。对线状锯的切割性能最具有影响的是在芯线表面上所固着的磨粒的固着状态，主要有磨粒数、磨粒间距、偏芯量为重要的因素。若磨粒的固着状态差，则磨粒会过早脱落，最终致使粘接剂材料剥离。由于粘接剂材料的剥离，会导致切割速度急剧下降，加工面的精度也变差，同时还会使线状锯的寿命变短。因此，为了防止因磨粒脱落引起的粘接剂的剥离、进行高效率的加工，有必要使磨粒固着状态成为最佳状态。在专利文献1中公开了以使线状锯表面的磨粒固着状态成为良好的状态为目的的线状锯的制造方法。专利文献1特开2002-036091号公报(段落编号0009～0077)专利技术内容但是，该制造方法是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线状锯，其特征在于，该线状锯是以如下方式形成的，即，利用透过了在芯线周围经由粘接剂材料固着有磨粒的线状锯的光，拍摄前述线状锯的图像，根据所拍摄的线状锯的图像的亮度检测掌握磨粒的轮廓，检测前述磨粒的分别状态，根据通过上述的线状锯的检测方法所检测出来的前述磨粒的投影面积，控制前述磨粒的层厚，使前述磨粒的投影面积相对于磨粒层的投影面积在２０％或其以上在８０％或其以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井手大介，峠直树，
申请(专利权)人：日本则武超精密磨料磨具有限公司，诺利塔克股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]