【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种在硅纳米线上制备径向p?n结太阳电池的方法,其特征在于该方法包括以下步骤:(1)在p型掺杂硅片的上表面制备硅纳米线,并将制备好的带有纳米线的硅片清洗干净,得到硅纳米线样品;(2)将上述清洗后的硅纳米线样品浸入稀释的氢氟酸溶液中,去除样品表面的氧化层,氢氟酸溶液的体积百分比溶度为1~5%,浸泡时间为0.5~2分钟;(3)将经步骤(2)处理的硅纳米线样品放入热丝化学气相沉积腔体内,对衬底进行烘烤,烘烤温度为150~400℃,点亮热丝,热丝的温度为1300~1900℃,然后通入用氢气稀释的磷烷气体,其中磷烷气体的浓度为0.1~2%,腔体内气压为0.2~5Pa,掺杂时长为5~60min,在纳米线样品表层形成n型掺杂层,n型掺杂层和p型纳米线基底形成了径向的p?n结;(4)将步骤(3)已制备出径向p?n结的硅纳米线样品放入热蒸发腔体内,设定衬底烘烤温度200℃,在氧气氛围下,在硅纳米线样品的掺杂层上沉积氧化铟锡材料透明导电层,沉积的透明导电层厚度为60~150纳米,沉积速率为0.1~1纳米/秒;(5)将步骤(4)得到的带有透明导电层的硅纳米线样品放入热蒸发腔体内,当腔体压强小于1×10?3P ...
【技术特征摘要】
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