ESD保护结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种ESD保护结构，能抑制ESD放电响应性的产品偏差和重复放电引起的ESD放电响应性的变动。ESD保护器件(1)包括氧化铝层叠基板(2)、空洞部(3)、放电电极对(4)、放电辅助电极(6A、6B)、及玻璃状物质(7)。空洞部(3)设置在氧化铝层叠基板(2)的内部。放电电极对(4)与空洞部(3)和氧化铝层叠基板(2)的界面相对设置。放电辅助电极(6A、6B)分散配置在放电电极对(4)的相对的电极之间。玻璃状物质(7)在空洞部(3)的内部覆盖放电辅助电极(6A、6B)。以这样的结构实施试行放电，预先在放电电极对(4)的电极之间产生沿面放电。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田浩辅，野间隆嗣，足立淳，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：实用新型
国别省市：