【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置,包括4f光学信息处理系统,该4f光学信息处理系统包括照明点光源、准直透镜、系统的输入平面、第一傅立叶变换透镜、频谱面、第二傅立叶变换透镜与系统的输出平面,其中输入平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离、频谱面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离,以及输出平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离均为f;其特征在于:在上述系统的输入平面上设置有待测棱镜,在频谱面上设置有一用于消弱零级频谱和滤除二级及以上频谱的低通振幅型滤波器,在系统的输出平面上设置有CCD探测器,CCD探测器与一计算机相连。
【技术特征摘要】
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