【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】提供一种涂布设备(700)，所述涂布设备包括：(i)真空腔室(16)，所述真空腔室用于使用经由金属丝(wire)(14)加热的涂布材料涂布基板(12)；和(ii)致动器系统(18)，所述致动器系统包括机动驱动器(20)。致动器系统配置成用于在涂布期间张紧金属丝(14)。此外，提供一种制造经涂布的基板(12)的方法，所述方法包括以下步骤：(i)由包括机动驱动器的致动器系统(18)张紧金属丝(14)；和(ii)使用涂布材料(28)涂布基板(12)，所述涂布的步骤在真空条件下执行。涂布的步骤包括以下步骤：在涂布材料沉积于基板(12)之上之前，加热金属丝(14)的至少一部分(14b)至用于引起涂布材料的温度升高的操作温度。【专利说明】
本专利技术的实施例涉及用于涂布基板的设备与方法。详细而言，本专利技术的实施例涉及用于实施一条或多条金属丝(wire)作为系统的热元件的涂布设备和方法。特定而言，本文的实施例涉及制造经涂布的基板的涂布设备与方法。
技术介绍
涂布设备可实现加热一条或多条金属丝作为用于执行基板涂布的热元件。详细而言，可将加热的一条或多条金属丝...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：斯蒂芬·班格特，沃纳·古尔，斯蒂芬·凯勒，迈克尔·柯尼希，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：
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