【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种激光脉冲拉伸装置，特征在于其构成包括偏振分光器、第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜，所述的第一反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的透射方向或反射方向，所述的第二反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的反射方向或透射方向，第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜的主截面与入射面成45度角，反射面均镀有相位延迟薄膜，每个反射直角棱镜两反射面的相位延迟量之和为180度。本专利技术使合束的两光束的光强相差较小，振动方向正交，合束后能量分布均匀，不满足干涉条件，只是简单的光强叠加。【专利说明】激光脉冲拉伸装置
本专利技术涉及激光
，特别是一种激光脉冲拉伸装置。技术背景在投影光刻机中使用准分子激光器作为照明光源，准分子激光器是以脉冲方式工作的，其脉冲时间通常在纳秒量级。在一定的脉冲时间条件下，若增大激光能量则脉冲功率也增加，则高的功率密度容易损坏光学元件。为了减小功率密度对投影光刻机中光学元件的影响，需要使用激光脉冲拉伸装置对激光脉冲时间进行拉伸，即在保持能量不变的情况下，通过在时间上对脉冲进行扩展而减小激光脉冲的峰值功率。在先技术(Michael M.A...
【技术保护点】
一种激光脉冲拉伸装置，特征在于其构成包括偏振分光器、第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜，所述的第一反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的透射方向或反射方向，所述的第二反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的反射方向或透射方向，第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜的主截面与入射面成45度角，反射面均镀有相位延迟薄膜，每个反射直角棱镜两反射面的相位延迟量之和为180度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王莹，曾爱军，朱玲琳，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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