【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半色调相移掩模坯料,其特征在于,在半色调相移膜上设置有单层结构或多层结构的遮光膜,所述遮光膜具备至少一层由铬系材料构成的层,所述由铬系材料构成的层中的至少一层由含有锡的铬系材料构成。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:深谷创一,中川秀夫,笹本纮平,
申请(专利权)人:信越化学工业株式会社,
类型:发明
国别省市:
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