一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列制造技术

本发明专利技术涉及管道内检测器的定位技术，具体是一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列。本发明专利技术解决了现有管道内检测器的定位技术定位精确性低的问题。一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列包括两个四梁臂硅微结构、两个微型柱状体、两个中心连接体、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构和两个中心连接体均位于同一平面；两个微型柱状体的上端各自垂直固定于两个中心连接体的下表面中央。本发明专利技术适用于油气管道的内检测器的声定位，也适用于各类管道的泄漏检测定位。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列，其特征在于：包括两个四梁臂硅微结构（1）、两个微型柱状体（2）、两个中心连接体（3）、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构（1）和两个中心连接体（3）均位于同一平面；两个微型柱状体（2）的上端各自垂直固定于两个中心连接体（3）的下表面中央；检测电路包括由第一?第四应变压敏电阻（R1?R4）连接构成的第一惠斯通电桥、由第五?第八应变压敏电阻（R5?R8）连接构成的第二惠斯通电桥、由第九?第十二应变压敏电阻（R9?R12）连接构成的第三惠斯通电桥、由第十三?第十六应变压敏电阻（R13?R16）连接构成的第四惠斯通电桥；第一惠斯通电桥铺设于其中一个四梁臂硅微结构（1）的其中两个梁臂上；第二惠斯通电桥铺设于其中一个四梁臂硅微结构（1）的另外两个梁臂上；第三惠斯通电桥铺设于另外一个四梁臂硅微结构（1）的其中两个梁臂上；第四惠斯通电桥铺设于另外一个四梁臂硅微结构（1）的另外两个梁臂上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张国军，宋小鹏，简泽明，刘宏，刘梦然，张文栋，薛晨阳，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：