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基于液体质量块的高g值加速度传感器制造技术

技术编号:9405156 阅读:110 留言:0更新日期:2013-12-05 05:46
本发明专利技术涉及一种适用于高g值环境下的压电式加速度传感器,具体是一种基于液体质量块的高g值加速度传感器,包括圆柱形的本体,敏感元件,波阻抗小于本体波阻抗的有机液体,所述的本体是由基座体以及安装在基座体上的头体构成的,基座体或头体上预留有引线孔,头体下表面开有容置槽,头体沿轴向至少开有一个通孔,各通孔的直径相同且圆心均匀分布于同一圆周上,各通孔与容置槽相通,通孔的高度为容置槽的高度的十倍以上;所述的基座体与容置槽相对应的上表面开有容纳隔热隔应力垫的凹陷,隔热隔应力垫上铺设有压电薄膜;压电薄膜上表面、容置槽以及各通孔形成的空间内充满有机液体,通孔的尺寸需保证其内的有机液体不产生毛细现象。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于液体质量块的高g值加速度传感器,其特征在于,包括圆柱形的本体,敏感元件,波阻抗小于本体波阻抗的有机液体,所述的本体是由基座体(1)以及安装在基座体(1)上的头体(2)构成的,基座体(1)或头体(2)上预留有引线孔(5),头体(2)下表面开有容置槽(4),头体(2)沿轴向至少开有一个通孔(3),各通孔(3)的直径相同且圆心均匀分布于同一圆周上,各通孔(3)与容置槽(4)相通,通孔(3)的高度(h)为容置槽(4)的高度(h0)的十倍以上;所述的基座体(1)与容置槽(4)相对应的上表面开有容纳隔热隔应力垫(6)的凹陷,隔热隔应力垫(6)上铺设有压电薄膜(7);压电薄膜(7)上表面、容置槽(4)以及各通孔(3)形成的空间内充满有机液体,通孔(3)的尺寸需保证其内的有机液体不产生毛细现象;各通孔(3)孔口处分别通过预紧螺栓(8)以及密封垫(9)将有机液体密封于该空间内,该空间与引线孔(5)不连通,除了压电薄膜(7)上表面的其余空间壁上均布满绝缘薄膜(11),引线孔(5)内设有连接于压电薄膜(7)上的引线(10)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马铁华靳鸿王燕陈昌鑫裴东兴张红艳靳书云沈大伟
申请(专利权)人:中北大学
类型:发明
国别省市:

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