【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微小距离的测定方法，包括以下步骤：（1）将靶膜加载到靶膜支架上，将阻停膜加载到阻停膜支架上，靶膜和阻停膜形成平行板电容器；（2）测量所述的平行板电容器的电容值；（3）根据所述的电容值计算靶膜与阻停膜之间的距离，理论计算公式为：??????其中，为靶膜与阻停膜之间的距离，为真空介质常数，为介质相对介电常数，为所述平行板电容器的有效面积，所述的电容值。2013103210079100001dest_path_image002.jpg
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓光，汪金龙，贺创业，李广生，吴义恒，胡世鹏，郑云，
申请(专利权)人：中国原子能科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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