【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种N型太阳能硅单晶料的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)加料:将单晶硅原料及杂质放入石英坩埚内,掺杂物为磷;(2)熔化:加完单晶硅原料于石英埚内后,将长晶炉关闭并抽成真空后充入纯度为99.97%的高纯度氩气,然后打开石墨加热器电源,以4℃/min的速率加热至1420℃?1460℃,将单晶硅原料熔化,熔化后保温,排除熔体中的气泡;?(3)缩颈生长:当熔体的温度稳定在1440℃之后,将一根直径为13mm的籽晶慢慢浸入硅熔体中,将籽晶快速向上提升,晶棒以15rpm旋转,坩埚以-5rpm旋转,使长出的籽晶的直径为4mm?7mm,长为24?32mm;?(4)放肩生长:长完细颈之后,晶棒以10rpm旋转,坩埚以-5rpm旋转,降低熔体温度至760℃?820℃,逐步增大直径,使得晶体的直径渐渐增大到26mm;(5)等径生长:长完细颈和肩部之后,拉速与温度做微调整,使晶棒直径维持在正负2mm?之间,单晶硅片取自于等径部分;(6)收尾:在晶体硅结束生长时,晶体硅的生长速度再次加快,同时升高硅熔体的温度到1465℃,使得晶体硅的直径不断缩小,形成一个圆锥形,最终晶体硅离开液面,单晶硅生长完成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:施承启,李超,
申请(专利权)人:卡姆丹克太阳能江苏有限公司,
类型:发明
国别省市:
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