导电薄膜、其制备方法及应用技术

技术编号:9402651 阅读:116 留言:0更新日期:2013-12-05 04:57
一种导电薄膜,包括层叠的MZO层及DCu2O2层,其中,MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌,D为Mg、Ca、Sr或Ba。上述导电薄膜通过在MZO层的表面沉积高功函的P型氧化物薄膜制备双层导电薄膜,既能保持MZO层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明专利技术还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的MZO层及DCu2O2层,其中,MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌,D为Mg、Ca、Sr或Ba。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周明杰王平陈吉星张振华
申请(专利权)人:海洋王照明科技股份有限公司深圳市海洋王照明技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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