石墨烯的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种石墨烯的制备方法，包括如下步骤：a)将磁性催化剂放置于衬底上，并将附有所述催化剂的所述衬底放置于化学气相沉积设备里密封；b)在所述衬底的垂直方向上施加磁场，通保护性气体50～200sccm，保持10～30分钟，排走反应室的氧气后开始对所述衬底加热；c)对所述衬底加热到低于所述磁性催化剂的居里温度时，开始通入含碳气体100～1000sccm，并保持30～300分钟的时间，使所述衬底开始生长垂直石墨烯。本发明专利技术的石墨烯的制备方法，产出的石墨烯均垂直于衬底，且一致性较好、均匀高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石墨烯的制备方法，该制备方法包括如下步骤：a)?将磁性催化剂放置于衬底上，并将附有所述催化剂的所述衬底放置于化学气相沉积设备里密封；b)?在所述衬底的垂直方向上施加磁场，通保护性气体50～200sccm，保持10～30分钟，排走反应室的氧气后开始对所述衬底加热；c)?对所述衬底加热到低于所述磁性催化剂的居里温度时，开始通入含碳气体100～1000sccm，并保持30～300分钟的时间，使所述衬底开始生长垂直石墨烯；d)?待反应结束后，停止加热，关闭含碳气体，在保护气体下冷却至室温后关闭所有气体，在所述衬底表面得到垂直阵列的石墨烯。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周明杰，袁新生，王要兵，
申请(专利权)人：海洋王照明科技股份有限公司，深圳市海洋王照明技术有限公司，
类型：发明
国别省市：