具有连续旋转的原子层沉积旋转料架及其使用方法技术

本发明专利技术提供包括旋转轮的原子层沉积设备及方法，所述旋转轮具有多个基板载体，所述原子层沉积设备及方法用于连续处理基板。处理腔室在前端上可具有载入站，所述载入站被配置成具有一个或更多个机械手臂以从基板载体载入及卸载基板，无需停止旋转轮。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·约德伏斯基，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：