【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造黑硅超疏水材料的方法,其特征在于,包括:用金属辅助化学离子刻蚀法或者飞秒激光辐照法在硅衬底材料上形成黑硅活性区增强吸收层;用等离子体增强化学气相沉积法在所述黑硅活性区增强吸收层的表面生长形成氧化硅层;在所述氧化硅层上形成二氯二甲基硅烷层。
【技术特征摘要】
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