基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置。它由光源（1）和其光路（2）上的管状声学谐振腔（6），以及置于管状声学谐振腔（6）侧开口处的光声气体传感器，与光声气体传感器配接的调制解调部件组成，特别是管状声学谐振腔（6）的管长为20～150mm、管内径为3～10mm，管状声学谐振腔（6）侧的开口为与其相连通的小孔（4），其孔深为1.5～2.5mm、孔直径为1.5～2.5mm，光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜（5），其膜平面与小孔（4）端平面的间距为0.1～3mm、输出端经前置放大器（7）与调制解调部件的锁相放大器（8）的输入端电连接。它具有结构简单、较宽的响应带宽和工作稳定的特点，可广泛地用于探测和确定气体浓度或化学成分。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置，由光源（1）和其光路（2）上的管状声学谐振腔（6），以及置于管状声学谐振腔（6）侧开口处的光声气体传感器，与光声气体传感器配接的调制解调部件组成，其特征在于：所述管状声学谐振腔（6）的管长为20～150mm、管内径为3～10mm；所述管状声学谐振腔（6）侧的开口为与其相连通的小孔（4），其孔深为1.5～2.5mm、孔直径为1.5～2.5mm；所述光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜（5），所述聚偏氟乙烯压电薄膜（5）的膜平面与小孔（4）端平面的间距为0.1～3mm，其输出端经前置放大器（7）与所述调制解调部件的锁相放大器（8）的输入端电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘锟，高晓明，汪磊，谈图，张为俊，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：