【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高精密的光栅位移测量装置，其特征在于包括有由反射光栅尺（101）、第一光学放大系统（102）、第二光学放大系统（103）、FPGA驱动单元（106）、第一CMOS阵列（104）和第二CMOS阵列（105），反射光栅尺（101）的增量码由第一光学放大系统（102）放大，反射光栅尺（101）的绝对码由第二光学放大系统（103）放大，?FPGA驱动单元（106）驱动第一CMOS阵列（104）和第二CMOS阵列（105）采集两路光形成两张图像，对绝对码图像处理解码出一个光栅尺的绝对位置距离，对增量码的处理进一步计算出一个误差的增量距离，这两个距离加在一起最终得到一个CMOS阵列中心相对光栅尺的一个高精确的距离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈新，王晗，陈新度，刘强，朱增顶，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：
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