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一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置制造方法及图纸

技术编号:9366124 阅读:159 留言:0更新日期:2013-11-21 22:11
本实用新型专利技术提供了一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置,其特征是所涉及的装置包括位于生长坩埚(3)中熔体(4)上方的固定生长籽晶(2)的籽晶杆(1),籽晶杆(1)由晶体生长设备的提拉头控制,生长坩埚(3)位于晶体生长加热炉中,加热炉的温度发热体(5)的温控设备独立控制,生长坩埚(3)通过连通器(6)与化料坩埚(9)中下面的熔体相连,化料坩埚(9)中的温度由位于其外壁的发热体(7)的加热功率控制,位于化料坩埚(9)中熔体上方的固态料(10)能够在晶体生长过程中补充熔体的消耗。所述的发热体(5)、(7)和发热体(8)的温度能够独立控制,这样做的有益效果是可以发热体7的加热功率能够给化料坩埚(9)和生长坩埚(3)供热,节省能量,同时保证化料坩埚和生长坩埚的液面处于相同高度。所述的生长坩埚(3)、化料坩埚(9)和连通器(6)由耐高温的钨金制作。所述的装置整体处于氮气保护中。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置,其特征是所涉及的装置包括位于生长坩埚(3)中熔体(4)上方的固定生长籽晶(2)的籽晶杆(1),籽晶杆(1)由晶体生长设备的提拉头控制,生长坩埚(3)位于晶体生长加热炉中,加热炉发热体(5)的温控设备独立控制,生长坩埚(3)通过连通器(6)与化料坩埚(9)中下面的熔体相连,化料坩埚(9)中的温度由位于其外壁的发热体(7)的加热功率控制,位于化料坩埚(9)中熔体上方的固态料(10)能够在晶体生长过程中补充熔体的消耗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万尤宝张建新沈慧娟熊小青
申请(专利权)人:嘉兴学院
类型:实用新型
国别省市:

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