【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种日盲紫外DBR,其结构从下至上依次为:蓝宝石衬底、厚度为d1的Al0.5Ga0.5N模板层、DBR周期层,所述DBR周期层中包含n个周期,每个周期从下至上由厚度为d2的Alx1Iny1Ga1?x1?y1N?Alx2Iny2Ga1?x2?y2N组分渐变层、厚度为d3的Alx3In1?x3N层和厚度为d4的Alx4Ga1?x4N层组成。
【技术特征摘要】
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