【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤S110：提供一衬底；步骤S120：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于所述衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；步骤S130：将所述铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体，其中，所述硫化氢气体的浓度为1%～5%；步骤S140：将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；步骤S150：以5℃/min的升温速率升温经步骤S140后的反应物至480℃，并保温20min～30min；步骤S160：以5℃/min的升温速率升温经步骤S150后的反应物至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：于冰，杨春雷，程冠铭，冯叶，鲍浪，郭延璐，徐苗苗，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。