静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法制造方法及图纸

技术编号:9357592 阅读:68 留言:0更新日期:2013-11-21 00:52
本发明专利技术实施例公开了一种静电消除装置,用于消除玻璃基板上的静电。该静电消除装置包括呈框体结构的导轨、静电消除器及驱动装置。该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器能够滑动地装设在该导轨内。该驱动装置固定在该导轨上并用于驱动该静电消除器沿着该导轨来回移动。另,本发明专利技术还提供一种装配有该静电消除装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种静电消除装置,用于消除玻璃基板上的静电,其特征在于,该静电消除装置(20)包括:呈框体结构的导轨(22),该导轨(22)设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件(10)的一条侧边的外表面上;静电消除器(26),该静电消除器(26)能够滑动地装设在该导轨(22)内;及驱动装置(28),该驱动装置(28)固定在该导轨(22)上并用于驱动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈增宏林昆贤汪永强杨卫兵齐明虎李晨阳子杨国坤蒋运芍舒志优
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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