光栅刻划刀调整装置及其方法制造方法及图纸

光栅刻划刀调整装置及其方法属于光栅刻划机械自动控制领域，目的在于实现高精度、高性能光栅的刻制。本发明专利技术的压电陶瓷设于承载座上，刀架定位安装头与压电陶瓷的输出端连接，刀架位于刀架定位安装头的下方，测量装置固定于承载座，n个封闭力机构设于承载座和刀架定位安装头之间，抬落刀机构安装在刀架定位安装头上，实现刀架的抬起和落下；压电陶瓷和测量装置与数据采集控制模块连接，数据采集控制模块控制压电陶瓷驱动刀架定位安装头产生位移量，调节刀架的运行误差。本发明专利技术压电陶瓷执行微定位时的负载质量较轻，提高了动态调节带宽和动态精度，降低了金刚石刻刀相对光栅基底间的误差，实现高精度、高性能光栅的刻制。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
光栅刻划刀调整装置，其特征在于，包括承载座（1）、压电陶瓷（2）、刀架定位安装头（3）、刀架（4）、测量装置（5）、抬落刀机构（6）、封闭力机构和数据采集控制模块；所述压电陶瓷（2）设于所述承载座（1）上，所述刀架定位安装头（3）与所述压电陶瓷（2）的输出端连接，所述刀架（4）位于所述刀架定位安装头（3）的下方，所述测量装置（5）固定于所述承载座（1），对光栅基底和刀架定位安装头（3）的相对位移进行测量，所述n个封闭力机构设于所述承载座（1）和所述刀架定位安装头（3）之间，所述抬落刀机构（6）安装在所述刀架定位安装头（3）上，实现刀架（4）的抬起和落下；所述压电陶瓷（2）和所述测量装置（5）与数据采集控制模块连接，所述数据采集控制模块控制所述压电陶瓷（2）驱动所述刀架定位安装头（3）产生位移量，调节所述刀架（4）的运行误差。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐玉国，于海利，李晓天，杨超，齐向东，巴音贺希格，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：