一种双敏感模态的微机械陀螺制造技术

本发明专利技术设计了一种新型的双敏感模态的微机械陀螺结构，主要是为了提高微机械陀螺的增益来提高灵敏度。本发明专利技术设计的微机械陀螺结构把完全的二自由度振动结构应用在驱动模态和敏感模态，而且采用双敏感模态结构，即敏感模态拥有两个完全的二自由度振动结构，分别通过检测质量块与驱动模态的驱动框架和解耦框架相连，实现双敏感模态与驱动模态的解耦。完全的二自由度结构可以增加驱动模态和敏感模态的3dB带宽，提高陀螺系统的稳定性；双敏感模态可以提高陀螺系统的整体输出增益，提高系统的灵敏度。本发明专利技术具有稳定性好、抗干扰以及高灵敏度的优点，并且避免了真空封装，有利于广泛的实际应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双敏感模态的微机械陀螺，其结构特征在于：结构主要由驱动框架(1)、解耦框架(2)、静驱动梳齿(9)和动驱动梳齿(10)、第一检测质量块(3)、第二检测质量块(4)、第一检测框架(5)、第二检测框架(6)、第一敏感质量块(7)、第二敏感质量块(8)、第一静敏感梳齿(11)、第一动敏感梳齿(12)、第二静敏感梳齿(13)、第二动敏感梳齿(14)构成；动驱动梳齿(10)设置在驱动框架(1)上，驱动框架(1)和锚点一(24)通过弹簧梁一(15)相连，驱动框架(1)和解耦框架(2)通过弹簧梁二(16)相连，解耦框架(2)和锚点二(25)通过弹簧梁三(17)连接，构成完全的二自由度的驱动模态；第一动敏...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，吕晓永，李欣，宋鸿儒，韩莉莉，赵清，杨博，范岳，朱玮，李强，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：